[发明专利]一种阵列基板及其修复方法在审
申请号: | 202211721623.9 | 申请日: | 2022-12-30 |
公开(公告)号: | CN115985918A | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 辛胜;朱翀煜;李桂锋;金利波 | 申请(专利权)人: | 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/146;H01L21/77 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201201 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 及其 修复 方法 | ||
本发明提供一种阵列基板及其修复方法,该阵列基板包括多条栅线、多条数据线、多条偏置电压线及多个像素单元,阵列基板划分为显示区和虚拟区,在虚拟区中,数据线垂直于阵列基板表面的投影与偏置电压线垂直于阵列基板表面的投影存在交叠。因此,在对数据线进行修复时,对数据线与偏置电压线的交叠区域处进行激光镭射,使二者短路连接,而由于二者之间仅有绝缘层,因此激光镭射引起的的热融效应不会造成周边的问题,有助于提高产品良率。
技术领域
本发明涉及光电检测技术领域,具体的,涉及一种阵列基板及其修复方法。
背景技术
平板探测器可应用于医疗成像(乳腺和胸部检查、放疗等)、工业无损探伤以及安检安防等领域,阵列基板是平板探测器中的重要组成部分,其由数百万乃至数千万个像素单元电路所组成,每个像素单元通常由薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)和光敏二极管(Photodiode,PD)等器件所构成。在阵列基板中,提供图像信号的数据线线宽很窄,因此在制造工艺过程中容易发生断线,需要采用激光进行断线修补动作。现有技术中的修复方案通常在镭射薄膜晶体管上实现,激光镭射造成的热融效应可能会引起周边的问题,影响产品的良率。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明提供一种阵列基板及其修复方法,该阵列基板包括多条栅线、多条数据线、多条偏置电压线及多个像素单元,阵列基板划分为显示区和虚拟区,在虚拟区中,数据线垂直于阵列基板表面的投影与偏置电压线垂直于阵列基板表面的投影存在交叠。因此,在对数据线进行修复时,对数据线与偏置电压线的交叠区域处进行激光镭射,使二者短路连接,而由于二者之间仅有绝缘层,因此激光镭射引起的的热融效应不会造成周边的问题,有助于提高产品良率。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种阵列基板,包括多条栅线、多条数据线、多条偏置电压线及多个像素单元,其中,所述多条栅线和所述多条数据线相互交叉形成多个限定区域,像素单元位于每个所述限定区域内;所述阵列基板划分为显示区和虚拟区,在所述虚拟区中,所述数据线垂直于阵列基板表面的投影与所述偏置电压线垂直于阵列基板表面的投影存在交叠。
可选的,所述像素单元内设置有薄膜晶体管和光学传感器。
可选的,所述多条偏置电压线包括多条第一偏置电压线和一条第二偏置电压线,其中,所述多条第一偏置电压线与所述多条数据线平行排布,所述第二偏置电压线位于所述多条第一偏置电压线的一端,且与所述多条第一偏置电压线垂直排布。
可选的,所述第一偏压线包括主线部和支线部,在所述虚拟区中,所述支线部覆盖所述薄膜晶体管和部分所述数据线。
可选的,在所述虚拟区中,所述数据线垂直于阵列基板表面的投影与所述第二偏置电压线垂直于阵列基板表面的投影存在交叠。
可选的,所述数据线延伸至所述第二偏置电压线,以使所述数据线垂直于阵列基板表面的投影与所述第二偏置电压线垂直于阵列基板表面的投影存在交叠。
可选的,所述第二偏置电压线延伸至所述数据线,以使所述数据线垂直于阵列基板表面的投影与所述第二偏置电压线垂直于阵列基板表面的投影存在交叠。
可选的,所述阵列基板还包括栅极驱动单元和处理单元,其中,所述栅极驱动单元与所述多条栅线相连,用于向所述多条栅线提供控制信号,所述处理单元与所述多条数据线相连,用于获取并处理所述多条数据线输出的电信号。
本发明还提供一种阵列基板的修复方法,包括以下步骤:
S1:提供一阵列基板,所述阵列基板为上述任一项所述的阵列基板,定位待修复的数据线;
S2:在所述虚拟区中,将所述待修复的数据线及与其存在交叠的偏置电压线进行短路连接;
S3:切断所述虚拟区中与所述栅极驱动单元相连的栅线。
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