[发明专利]基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质

说明书

本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。基板检查装置使用对基板的表面进行拍摄而得到的图像来检查基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持基板；第一光源部，其用于对保持于保持部的基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于保持部的基板射出紫外光；第一摄像传感器，其接受通过照射可见光而来自基板的反射光，来拍摄关于基板的可见光图像；第二摄像传感器，其接受通过照射紫外光而来自基板的反射光或散射光，来拍摄关于基板的紫外光图像；以及控制部，其用于获取来自第一摄像传感器的可见光图像和来自第二摄像传感器的紫外光图像。另外，可见光图像和紫外光图像是拍摄基板的共同的区域而得到的图像。

技术领域

本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。

背景技术

在专利文献1中，作为测定形成于基板上的膜的膜厚的装置，记载有预先准备表示膜厚测定值与基板的摄像图像中的像素值之间的相关的数据，根据拍摄基板表面而得到的摄像图像的像素值来估计该基板的膜厚。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-215193号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像的技术。

用于解决问题的方案

基于本公开的一个方式的基板检查装置使用对在表面形成有对象膜的基板进行拍摄而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持所述基板；第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出紫外光；第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而来自所述基板的反射光，来拍摄关于所述基板的可见光图像；第二摄像传感器，其接受通过照射所述紫外光而来自所述基板的反射光或散射光，来拍摄关于所述基板的紫外光图像；以及控制部，其用于获取所述可见光图像和所述紫外光图像。另外，所述可见光图像和所述紫外光图像是拍摄所述基板的共同的区域而得到的图像。

发明的效果

根据本公开，提供一种获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像的技术。

附图说明

图1是示出基板处理系统的概要结构的一例的示意图。

图2是示出涂布显影装置的一例的示意图。

图3是示出从摄像单元的上方观察该摄像单元的结构的一例的示意图。

图4是说明从摄像单元的侧方观察该摄像单元的结构的一例的示意图。

图5是说明从摄像单元的侧方观察该摄像单元的结构的一例的示意图。

图6是示出控制装置的功能结构的一例的框图。

图7是示出控制装置的硬件结构的一例的框图。

图8是示出检查处理的一例的流程图。

具体实施方式

下面，对各种例示性的实施方式进行说明。