[发明专利]基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种基板检查装置，使用对在表面形成有对象膜的基板进行拍摄而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：

保持部，其用于保持所述基板；

第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；

第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出紫外光；

第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而来自所述基板的反射光，来拍摄关于所述基板的可见光图像；

第二摄像传感器，其接受通过照射所述紫外光而来自所述基板的反射光或散射光，来拍摄关于所述基板的紫外光图像；以及

控制部，其用于获取所述可见光图像和所述紫外光图像，

其中，所述可见光图像和所述紫外光图像是拍摄所述基板的共同的区域而得到的图像。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述可见光图像和所述紫外光图像均是拍摄关于所述基板的整个表面的共同的区域而得到的图像。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述可见光图像和所述紫外光图像均是拍摄关于所述基板的周缘部的共同的区域而得到的图像。

4.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在形成于所述基板的表面的对象膜的膜厚为第一膜厚值以上的情况下，所述控制部控制所述第一摄像传感器和所述第二摄像传感器，以仅执行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄。

5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在形成于所述基板的表面的对象膜的膜厚为第二膜厚值以下的情况下，所述控制部控制所述第一摄像传感器和所述第二摄像传感器，以仅执行由所述第二摄像传感器进行的所述紫外光图像的拍摄。

6.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在形成于所述基板的表面的对象膜的膜厚在第三膜厚值与第四膜厚值之间的情况下，所述控制部控制所述第一摄像传感器和所述第二摄像传感器，以执行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄和由所述第二摄像传感器进行的所述紫外光图像的拍摄这两方。

7.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述控制部基于所述基板的所述对象膜的形成过程，来选择进行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄和由所述第二摄像传感器进行的所述紫外光图像的拍摄中的哪一方，并基于选择的结果来控制所述第一摄像传感器和所述第二摄像传感器。

8.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述第二摄像传感器能够拍摄明视场图像和暗视场图像来作为所述紫外光图像，

所述控制部获取所述明视场图像和所述暗视场图像作为来自所述第二摄像传感器的紫外光图像。

9.一种基板检查方法，使用对在表面形成有对象膜的基板进行拍摄而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查方法包括：

由保持部保持所述基板；

从第一光源部对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；

从第二光源部对保持于所述保持部的所述基板射出紫外光；

在第一摄像传感器中接受通过照射所述可见光而来自所述基板的反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可见光图像；

在第二摄像传感器中接受通过照射所述紫外光而来自所述基板的反射光或散射光，来拍摄关于所述基板的表面的紫外光图像；以及

由控制部获取所述可见光图像和所述紫外光图像，

其中，所述可见光图像和所述紫外光图像是拍摄所述基板的共同的区域而得到的图像。

10.根据权利要求9所述的基板检查方法，其特征在于，

所述可见光图像和所述紫外光图像均是拍摄关于所述基板的整个表面的共同的区域而得到的图像。