[发明专利]自动化植针系统

说明书

本申请提供一种自动化植针系统，涉及半导体设备领域，其包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构；探针上料机构包括上料输送组件及探针上料载盘；植针盘上料机构包括植针盘输送组件以及设置有植针孔的植针盘；植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件；夹持组件用于夹持预设上料工位的探针，将探针调节成竖直状态，将调节成竖直状态的探针植入植针孔；夹持输送组件用于在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；纠偏机构包括第一纠偏组件和第二纠偏组件。通过设置探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构，实现来料检测、植针以及植针效果检测的自动化，并保证高密度垂直探针卡具有较高的良品率。

技术领域

本申请涉及半导体设备领域，具体涉及一种自动化植针系统。

背景技术

植针是高密度垂直探针卡组装的核心工序之一，它包括来料检测、植针和植针效果检测三个步骤。

来料检测步骤分为人工目检和影像测量检测，因为探针卡是一种安装探针良率必须为100％的特殊产品，在当前探针卡探针数已上升到万级的客观条件下，需要投入大量人力和影像测量设备来针对探针的外形尺寸和陶瓷基板上的植针孔尺寸和位置度进行来料检测，需要投入较高的成本。

植针步骤当前主要依靠人工操作完成，高密度垂直探针卡使用的探针都非常微小，直径在30μm到50μm之间，操作人员需要依靠光学显微镜进行极高精度的手工操作，这对于操作人员的经验以及操作状态较为依赖，且人工操作的效率、良品率均难以保障，一旦出现废针或者废卡，会造成较大的成本损失。

植针效果检测步骤当前主要由人工完成，也分为人工目检和影像测量检测，同来料检测一样，需要投入足够的人员和设备。

因此，需要一种新的自动化植针系统，能够实现来料检测步骤、植针步骤以及植针效果检测步骤的自动化，同时还能够保证高密度垂直探针卡具有较高的良品率。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种自动化植针系统，能够实现来料检测步骤、植针步骤以及植针效果检测步骤的自动化，同时还能够保证高密度垂直探针卡具有较高的良品率。

本说明书实施例提供以下技术方案：

本说明书实施例提供一种自动化植针系统，包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构；

探针上料机构包括上料输送组件以及用于承载探针的探针上料载盘；上料输送组件被配置为：带动探针上料载盘移动，以使探针上料载盘承载的探针移动至预设上料工位；

植针盘上料机构包括植针盘输送组件以及设置有植针孔的植针盘；植针盘输送组件被配置为：带动植针盘移动，以使植针盘上的植针孔移动至预设植针工位；

植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件；

夹持组件被配置为：夹持预设上料工位的探针，将探针调节成竖直状态，将调节成竖直状态的探针植入预设植针工位上的植针孔；夹持输送组件被配置为：在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件；

纠偏机构包括第一纠偏组件和第二纠偏组件；

第一纠偏组件被配置为：获取探针上料载盘上探针的尺寸信息及探针相对预设上料工位的位置信息，输出第一反馈信息；上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位置状态；

第二纠偏组件被配置为：获取植针孔的尺寸信息、植针孔相对预设植针工位的位置信息以及植针孔的植针状态信息，根据植针孔的尺寸信息以及植针孔相对预设植针工位的位置信息，输出第二反馈信息；植针盘输送组件还被配置为：根据第二反馈信息，调节植针孔的位置状态。

优选的，第一纠偏组件被配置为：获取探针上料载盘上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量，输出第一反馈信息；上料输送组件还被配置为：根据第一反馈信息，调节探针的位移量。