[发明专利]自动化植针系统在审
| 申请号: | 202211684308.3 | 申请日: | 2022-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN116519997A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
| 发明(设计)人: | 邹斌;罗雄科 | 申请(专利权)人: | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R3/00 |
| 代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 黄贞君;郑纯 |
| 地址: | 201306 上海市浦东新区中国(上海)自由*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 自动化 系统 | ||
1.一种自动化植针系统,其特征在于,包括探针上料机构、植针机构、植针盘上料机构及纠偏机构;
所述探针上料机构包括上料输送组件以及用于承载探针的探针上料载盘(10);所述上料输送组件被配置为:带动探针上料载盘(10)移动,以使探针上料载盘(10)承载的探针移动至预设上料工位;
所述植针盘上料机构包括植针盘输送组件以及设置有植针孔的植针盘(15);所述植针盘输送组件被配置为:带动植针盘(15)移动,以使植针盘(15)上的植针孔移动至预设植针工位;
所述植针机构包括夹持组件以及夹持运输组件;
所述夹持组件被配置为:夹持预设上料工位的探针,将探针调节成竖直状态,将调节成竖直状态的探针植入预设植针工位上的植针孔;所述夹持输送组件被配置为:在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件;
所述纠偏机构包括第一纠偏组件(12)和第二纠偏组件(21);
所述第一纠偏组件(12)被配置为:获取探针上料载盘(10)上探针的尺寸信息及探针相对预设上料工位的位置信息,输出第一反馈信息;所述上料输送组件还被配置为:根据第一反馈信息,调节探针的位置状态;
所述第二纠偏组件(21)被配置为:获取植针孔的尺寸信息、植针孔相对预设植针工位的位置信息以及植针孔的植针状态信息,根据植针孔的尺寸信息以及植针孔相对预设植针工位的位置信息,输出第二反馈信息;所述植针盘输送组件还被配置为:根据第二反馈信息,调节植针孔的位置状态。
2.根据权利要求1所述的自动化植针系统,其特征在于,所述第一纠偏组件(12)被配置为:获取探针上料载盘(10)上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量,输出第一反馈信息;所述上料输送组件还被配置为:根据第一反馈信息,调节探针的位移量。
3.根据权利要求2所述的自动化植针系统,其特征在于,所述第一纠偏组件(12)被配置为:获取探针上料载盘(10)上探针的尺寸、探针相对预设上料工位的位置偏移量及角度偏移量,输出第一反馈信息;所述上料输送组件还被配置为:根据第一反馈信息,调节探针的位移量及角度偏移量。
4.根据权利要求3所述的自动化植针系统,其特征在于,所述上料输送组件包括X轴上料驱动件、Y轴上料驱动件以及上料角度调节驱动件;
所述X轴上料驱动件被配置为:在X轴方向上带动探针上料载盘(10)移动;
所述Y轴上料驱动件被配置为:在Y轴方向上带动探针上料载盘(10)移动;
所述上料角度调节驱动件被配置为:在水平方向上调节探针上料载盘(10)的角度。
5.根据权利要求1所述的自动化植针系统,其特征在于,所述纠偏机构还包括植针X方向纠偏相机(17)和植针Y方向纠偏相机(19);
所述植针X方向纠偏相机(17)被配置为:获取预设植针工位上探针在X轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量,输出第三反馈信息;
所述植针Y方向纠偏相机(19)被配置为:获取预设植针工位上探针的Y轴方向上的位置偏移量以及角度偏移量,输出第四反馈信息;
所述夹持运输组件和夹持组件相互配合,根据第三反馈信息和第四反馈信息,调节预设植针工位上探针的位移量和角度偏移量。
6.根据权利要求5所述的自动化植针系统,其特征在于,所述预设上料工位和预设植针工位在X轴方向依次分布;
所述夹持运输组件包括X轴夹持驱动件(3)、Z轴夹持驱动件(4);
所述X轴夹持驱动件(3)被配置为:在预设上料工位和预设植针工位之间往返输送夹持组件;
所述Z轴夹持驱动件(4)被配置为:在竖直方向上带动夹持组件位移;
所述夹持组件包括夹持件(7)、第一夹持角度调节件(5)以及第二夹持角度调节件(6),所述夹持件(7)用于夹持探针;
所述第一夹持角度调节件(5)和第二夹持角度调节件(6)相互配合,调节探针在水平方向和竖直方向上的角度偏移量。
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