[发明专利]一种回旋管管体除气方法

说明书

本发明涉及真空器件制造领域，一种回旋管管体除气方法，所述除气方法包括如下步骤:包括回旋管管体安装到除气设备上之前进行电性能检测、回旋管管体安装到除气设备上、回旋管管体除气前检漏处理、回旋管管体除气烘烤、回旋管管体灯丝加电、回旋管管体除气后检漏处理、回旋管管体封离除气设备；本发明公开了一种回旋管管体除气方法，本发明通过上述除气方法，基本能够排除回旋管管体内部的气体，使得回旋管得到高真空工作环境，提高回旋管工作可靠性和延长管子寿命，同时该方法工艺重复性和一致性高，利于操作。

技术领域

本发明涉及真空器件制造领域，一种回旋管管体除气方法。

背景技术

太赫兹科学与技术是一门跨学科的新兴交叉科学，衔接了宏观的经典电磁波理论与微观量子理论。

自2000年以来,太赫兹真空电子学有了很快的发展并取得了重要的成果,可以工作在太赫兹频段的真空电子学的大功率太赫兹源主要有回旋管、SmithPurcell效应器件、返波管等。

这些器件中，回旋管是快波器件，高频结构的尺寸与其它器件相比有很大优势，在220GHz以上乃至THz频段，可以实现瓦级到千瓦量级，甚至更高功率的信号输出。

为了提高回旋管工作的可靠性和延长管件的使用寿命，就需要对回旋管体进行除气操作。

现有除气设备虽然是现有结构，但是实际操作时，操作方式不统一，使得管体除气不具有一致性。

所以为了改善上述问题，一种可以配合现有除气设备用于对回旋管体进行除气操作的除气方法是现在所需要的。

发明内容

本发明的目的是提供一种回旋管管体除气用的除气方法。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种回旋管管体除气方法，所述除气方法包括如下步骤:

步骤1：把待除气的回旋管管体安装到除气设备之前需要先进行电性能检测；

步骤2：步骤1完成后，把步骤1电性能检测后的回旋管管体安装到除气设备上；

步骤3：步骤2完成后，除气前，要求对该回旋管管体进行检漏处理；

步骤4：步骤3完成后，把该回旋管管体进行除气烘烤处理；

步骤5：步骤4完成后，通过对回旋管管体灯丝加电对回旋管电子枪阴极组件进行激活除气；

步骤6：步骤5完成后，对回旋管管体进行除气后检漏处理；

步骤7：步骤6完成后，回旋管管体封离除气设备；

步骤8：步骤7完成后，一个回旋管管体的除气操作完成，如果需要对另一个回旋管管体进行除气操作，重复上述步骤1-7即可。

所述步骤1中，所述电性能检测包括用万用表检查回旋管灯丝电路电阻是否符合设计要求以及用兆欧表测量回旋管电极间的绝缘性。

所述步骤2中所述回旋管管体安装到除气设备上需要的步骤如下：

S1：用棉布蘸酒精擦拭除气设备接口法兰盘和待除气回旋管排气管连接处；

S2：将回旋管排气管连接处安放到除气设备的法兰盘上；

S3：将除气设备上的灯丝电源部件的导线与回旋管上的热丝引线连接；

S4：降下除气设备炉罩直至除气设备炉罩的密封连接处。

所述步骤3中所述检漏处理包括如下步骤：

a1：对除气设备炉罩室内进行抽气直至真空度达到1×10^-1Pа以下；炉罩室内形成外真空；