[发明专利]一种回旋管管体除气方法

权利要求书

1.一种回旋管管体除气方法，其特征在于，所述除气方法包括如下步骤:

步骤1：把待除气的回旋管管体安装到除气设备之前需要先进行电性能检测；

步骤2：步骤1完成后，把步骤1电性能检测后的回旋管管体安装到除气设备上；

步骤3：步骤2完成后，除气前，要求对该回旋管管体进行检漏处理；

步骤4：步骤3完成后，把该回旋管管体进行除气烘烤处理；

步骤5：步骤4完成后，通过对回旋管管体灯丝加电对回旋管电子枪阴极组件进行激活除气；

步骤6：步骤5完成后，对回旋管管体进行除气后检漏处理；

步骤7：步骤6完成后，回旋管管体封离除气设备；

步骤8：步骤7完成后，一个回旋管管体的除气操作完成，如果需要对另一个回旋管管体进行除气操作，重复上述步骤1-7即可。

2.根据权利要求1所述的一种回旋管管体除气方法，其特征在于，所述步骤1中，所述电性能检测包括用万用表检查回旋管灯丝电路电阻是否符合设计要求以及用兆欧表测量回旋管电极间的绝缘性。

3.根据权利要求1所述的一种回旋管管体除气方法，其特征在于，所述步骤2中所述回旋管管体安装到除气设备上需要的步骤如下：

S1：用棉布蘸酒精擦拭除气设备接口法兰盘和待除气回旋管排气管连接处；

S2：将回旋管排气管连接处安放到除气设备的法兰盘上；

S3：将除气设备上的灯丝电源部件的导线与回旋管上的热丝引线连接；

S4：降下除气设备炉罩直至除气设备炉罩的密封连接处。

4.根据权利要求1所述的一种回旋管管体除气方法，其特征在于，所述步骤3中所述检漏处理包括如下步骤：

a1：对除气设备炉罩室内进行抽气直至真空度达到1×10^-1Pа以下；

炉罩室内形成外真空；

a2：对待除气的回旋管进行预抽气直至真空度达到2.7×10^-5Pа后进行下步操作；回旋管内形成内真空；

a3：关闭除气设备，打开放气阀，向除气设备炉罩室内充入空气，从而对回旋管管体进行检漏。

5.根据权利要求4所述的一种回旋管管体除气方法，其特征在于，所述a3中；如果在充气时内真空度没有变差，可以判定待除气的回旋管不漏气；则重复a1操作，继续对回旋管进行除气；

如果在充气时内真空度气压升高变差，可以判定内真空除气系统漏气，就必须升起除气设备炉罩，重新旋紧法兰盘螺帽，密封法兰盘与回旋管排气管连接处；

如果重新密封后回旋管的真空度变好，可以判定待除气回旋管不漏气，降下除气设备炉罩直至密封连接处；

重复a1操作，继续对回旋管进行除气；

如果重新密封后回旋管的真空度仍没有改变，就必须从下到上依次给回旋管管体所有焊接处涂上酒精寻找漏点；如果判定为回旋管管体漏气则需返修处理。

6.根据权利要求5所述的一种回旋管管体除气方法，其特征在于，所述除气烘烤处理包括如下步骤：

B1：判定回旋管管体不漏气则重新对除气设备炉罩室进行除气，接通外真空的除气设备(机械泵或罗茨泵等)直至气压达到1×10^-1Pa后，开通外真空分子泵；

B2：等外真空达到1×10^-3Pa后，然后接通除气设备的加热器，按回旋管升温烘烤的温度工艺曲线规定设定除气设备的升温程控程序，开启对回旋管管体进行升温烘烤。

7.根据权利要求6所述的一种回旋管管体除气方法，其特征在于；所述步骤5对回旋管管体灯丝加电对回旋管电子枪阴极组件进行激活除气包括如下步骤：

C1:当除气设备炉罩室内温度升到450℃-550℃范围内，持续保温15h-20h后；

开启除气设备上的灯丝电源开始给回旋管管体灯丝加电；

C2:按规定的电流值对回旋管灯丝进行加电操作，若加电过程期间回旋管管体内真空度达不到工艺设定要求，则延长加电保持时间，直至满足回旋管管体内真空度工艺设定要求；

C3:加电结束后，将回旋管灯丝上的电压缓慢降为零，并切断除气设备上的灯丝电源。