[发明专利]晶圆评估方法、装置及可读存储介质

说明书

本发明实施例提供一种晶圆评估方法、装置及可读存储介质，包括：获取晶圆图像；在晶圆图像中划分多个区域；按照相邻两个区域为一组，在多个区域中确定出多个区域组；计算区域组中的两个区域的粒子密度比；在计算出的所述粒子密度比大于预设门限的情况下，确定晶圆图像对应的晶圆为异常产品。

技术领域

本发明实施例涉及晶圆加工技术领域，特别涉及一种晶圆评估方法、装置及可读存储介质。

背景技术

晶体原生缺陷(Crystal Originated Particle，COP)是由于在晶体生长过程中，通过空位聚集形成的八面体空洞，COP的产生将直接影响生产的晶圆是否合格，因此针对COP的监控就格外重要。目前的监控方法主要是通过人为的方法对粒子计数器(ParticleCounter)的检测数据进行定期的监控。具体为按照不同载具，不同块(Block)对晶圆进行抽查，抽到该载具后会对该载具内的所有晶圆进行套刻叠图(Overlay)，通过这样的方式观察其检测map图，人为判定是否存在COP。但人工检测存在不能全检所有产品导致的漏检问题，且人为判定存在主观影响，导致对晶圆的评估结果不够准确。

发明内容

本发明实施例提供一种晶圆评估方法、装置及可读存储介质，解决人工检测COP不能全检所有产品的漏检问题，以及人为判定存在主观影响，对晶圆的评估结果不够准确的问题。

依据本发明实施例的第一方面，提供一种晶圆评估方法，包括：

获取晶圆图像；

在所述晶圆图像中划分多个区域；

按照相邻两个区域为一组，在所述多个区域中确定出多个区域组；

计算所述区域组中的两个区域的粒子密度比；

在计算出的所述粒子密度比大于预设门限的情况下，确定所述晶圆图像对应的晶圆为异常产品。

可选地，所述在所述晶圆图像中划分多个区域，包括：

在所述晶圆图像中按照由内向外划分多个区域；

其中，在相邻的两个区域中，靠内的区域为第一区域，靠外的区域为第二区域。

可选地，所述在所述晶圆按照由内向外划分多个区域，包括：

在所述晶圆图像中按照由内向外，等间距划分出多个圆心相同的环形区域。

可选地，所述计算所述区域组中的两个区域的粒子密度比，包括：

按照由外向内的顺序，依次计算每个区域组中所述第二区域与所述第一区域的粒子密度比。

可选地，所述多个区域的数量为5至15个。

可选地，所述预设门限为3.5至4.5。

依据本发明实施例的第一方面，提供一种晶圆评估装置，包括：

获取模块，用于获取晶圆图像；

划分模块，用于在所述晶圆图像中划分多个区域；

第一确定模块，用于按照相邻两个区域为一组，在所述多个区域中确定出多个区域组；

计算模块，用于计算所述区域组中的两个区域的粒子密度比；

第二确定模块，用于在计算出的所述粒子密度比大于预设门限的情况下，确定所述晶圆图像对应的晶圆为异常产品。

可选地，所述划分模块，具体用于：

在所述晶圆图像中按照由内向外划分多个区域；

其中，在相邻的两个区域中，靠内的区域为第一区域，靠外的区域为第二区域。