[发明专利]一种掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法

权利要求书

1.一种掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，包括：

S1、采用器件工艺，使得太阳电池达到待蒸镀减反射膜的状态；

S2、将掩膜材料与焊点粘接；

S3、进行真空环境下的减反射膜蒸镀；

S4、从真空室内取出太阳电池；

S5、通过有机溶剂溶解或热解或光解解除掩膜材料与焊点的连接；

S6、若采用热解或者光解法解除掩膜材料与焊点的连接，掩膜材料继续用机器吸盘移除；

S7、获得焊点处无减反射膜的电池晶圆。

2.根据权利要求1所述的掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，S2具体为：选择采用涂敷光解粘接材料作为掩膜材料，采用机器吸盘吸附掩膜材料，将掩膜材料对准太阳电池的焊点，并施加压力，使得掩膜材料与焊点粘接。

3.根据权利要求2所述的掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，所述涂敷光解粘接材料的掩膜材料为玻璃、陶瓷、硅片中的一种。

4.根据权利要求1所述的掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，所述粘接材料的厚度不超过200μm，粘接材料区域不大于掩膜材料区域，掩膜材料区域不大于焊点区域。

5.根据权利要求1所述的掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，S3具体为：在真空室中，蒸镀TiOx/AlOx双层减反射膜，控制整个蒸镀时基体温度不超过150℃。

6.根据权利要求1所述的掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，S5中，若采用有机溶剂溶解，粘接材料层厚度应大于30μm；若采用光解，掩膜材料为透明的无机材料。

7.根据权利要求1所述的掩膜法蒸镀柔性砷化镓太阳电池减反射膜的方法，其特征在于，S6中，机器吸盘移除掩膜材料时，采用吸盘将电池晶圆固定。