[发明专利]一种气体动态配气装置比对评价方法及评价装置

权利要求书

1.一种用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：设定稀释倍数k，向待测的气体稀释装置中通入一定量的零气和浓度为c_s的标准气体，使二者在混合室充分混合进行稀释操作；

S2：将充分稀释后的标准气体通入至预热后的傅里叶红外气体分析仪中进行检测，获取待测的气体稀释装置稀释后的实际稀释浓度值；

S3：重复上述S1至S2若干次，得到若干组实际稀释浓度值，求得实际稀释浓度的平均值；

S4：根据预期稀释浓度值c₀和实际稀释浓度的平均值，获取待检测气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差；

S5：设定多组不同的稀释倍数k，重复上述S1至S4，获取在各稀释倍数k条件下，待检测气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差；

S6：向标准气体稀释装置内通入零气和标准气体，重复上述S1至S5并设定相同的多组稀释倍数k，获取在各稀释倍数k条件下，标准气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差；

S7：比对在各稀释倍数k下，待检测气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差和标准气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差，评价待检测气体稀释装置的稀释效果。

2.根据权利要求1所述的用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，所述步骤S1中设定的稀释倍数k采用如下公式获得：

其中，F_s为通入的标准气体流量，F_d为通入的零气的流量。

3.根据权利要求2所述的用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，所述零气为高纯氮气或者高纯空气。

4.根据权利要求3所述的用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，所述标准气体为具有高吸附性的痕量级气体。

5.根据权利要求4所述的用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，所述预期稀释浓度值c0采用如下公式计算获得：

c₀＝kc_s；

其中，c₀为稀释后气体浓度，k为稀释倍数，c_s为标准气体浓度。

6.根据权利要求5所述的用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，所述步骤S5和S6中稀释浓度误差采用如下计算公式获得：

其中，ΔC_i为稀释后浓度误差，为实际稀释浓度的平均值，C₀为预期稀释浓度值。

7.根据权利要求6所述的用于气体动态配气装置比对评价方法，其特征在于，所述评价待检测气体稀释装置的稀释效果为对各稀释倍数k下，待检测气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差和标准气体稀释装置对标准气体稀释过程中产生的稀释浓度误差进行线性拟合，以获取线性拟合斜率和线性拟合的相关系数。

8.一种用于气体动态配气装置比对评价的装置，其特征在于，包括标准气体存储罐、零气存储罐、换向阀Ⅰ、换向阀Ⅱ、待检测气体稀释装置、标准气体稀释装置和傅里叶红外气体分析仪，所述标准气体存储罐的出气管路上连接换向阀Ⅰ、待检测气体稀释装置内的标准气体质量流量控制器Ⅰ和标准气体稀释装置内的音速喷嘴；所述标准气体质量流量控制器Ⅰ和标准气体稀释装置内的音速喷嘴相并联并汇入至待检测气体稀释装置内的混合室Ⅰ中；

所述零气存储罐的出气管路上连接换向阀Ⅱ、待检测气体稀释装置内的零气质量流量控制器Ⅰ和标准气体稀释装置内的零气质量流量控制器Ⅱ，所述零气质量流量控制器Ⅰ和标准气体稀释装置内的零气质量流量控制器Ⅱ相互并联并汇入至标准气体稀释装置内混合室Ⅱ中；

所述混合室Ⅰ和混合室Ⅱ的出气口连接换向阀Ⅲ，所述换向阀Ⅲ的出气口连接傅里叶红外气体分析仪。