[发明专利]一种上下料装置及检测系统在审
申请号: | 202211616222.7 | 申请日: | 2022-12-15 |
公开(公告)号: | CN116092993A | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 曾凡贵 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/66 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 上下 装置 检测 系统 | ||
1.一种上下料装置,其特征在于,包括:
机架,包括主体和多个沿竖直方向间隔设置的载板,所述机架设置有第一容置腔;
移载机构,容置于所述第一容置腔内,所述移载机构包括移载组件,所述移载组件能够沿竖直方向移动,所述移载组件包括承载组件,所述承载组件包括连接件和承载件,所述连接件具有设定的长度,所述承载件连接于所述连接件并能沿所述连接件的长度方向移动,所述承载件用于承载料片;
多个料盒组,各所述料盒组与各所述载板一一对应并安装于所述载板上,所述料盒组包括料盒,所述料盒可拆卸连接于所述载板,所述料盒设置有第二容置腔,所述料盒的内壁还设置有多个沿竖直方向间隔分布的承载部,所述承载部用于承载料片;
其中,所述载板能够相对于所述主体移动而将所述料盒组移出或移入所述第一容置腔,所述承载件能够沿所述连接件的长度方向移动至部分突入所述第二容置腔内。
2.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述移载组件还包括安装件,所述承载组件转动连接于所述安装件,所述承载组件的转动轴线竖直设置,所述料盒组包括多个所述料盒,多个所述料盒绕所述承载组件的转动轴线的周向方向间隔设置且距所述转动轴线的距离相等,所述承载组件能够相对于所述安装件转动至与各所述料盒相对应。
3.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述承载件设置有承载面,所述承载面设置有吸附孔,所述吸附孔用于连通真空源,所述承载面用于承载料片。
4.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,还包括两个第一限位组件,所述第一限位组件连接于所述载板,所述第一限位组件包括第一限位件和第二限位件,沿第一方向,所述第一限位件和所述第二限位件间隔设置,所述第一方向平行于所述承载组件的转动轴线的径向方向,两个所述第一限位组件沿第二方向间隔设置,所述第二方向垂直于所述第一方向,所述第一限位组件用于固定所述料盒。
5.根据权利要求4所述的上下料装置,其特征在于,所述第一限位件设置有相互垂直的第一限位面和第二限位面,所述第二限位件设置有第三限位面,所述第一限位面与所述第三限位面相互平行且相互之间具有设定距离,两个第一限位件设置的所述第二限位面朝向相反,两个所述第二限位面相互平行且相互之间具有设定距离,所述料盒具有设定的长度和宽度,所述料盒包括主体部和底座,所述主体部连接于所述底座,所述主体部设置有所述承载部,所述底座包括沿所述料盒宽度方向延伸的安装部以及连接两个所述安装部的连接部,所述安装部抵接于所述第一限位面与所述第三限位面之间,两个所述第二限位面抵接于所述安装部相互朝向的表面。
6.根据权利要求5所述的上下料装置,其特征在于,还包括第三限位件,所述第三限位件连接于所述载板,所述第三限位件沿所述承载组件的转动轴线的径向方向间隔设置有多个定位槽,所述连接部容置于所述定位槽并抵接于所述定位槽的槽壁。
7.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,所述移载机构包括第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件,所述第一驱动件连接于所述机架,所述移载组件连接于所述第一驱动件,所述第一驱动件能够驱动所述移载组件沿竖直方向移动,所述第二驱动件连接于所述安装件,所述承载组件连接于所述第二驱动件,所述第二驱动件能够驱动所述承载组件相对于所述安装件转动,所述第三驱动件安装于所述承载件和连接件之间,所述第三驱动件能够沿所述连接件的长度方向驱动所述承载件移动。
8.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述料盒具有设定的长度和宽度,所述料盒包括两个沿宽度方向间隔设置的第一主体部和第二主体部,所述第一主体部沿竖直方向设置有多个第一承载部,所述第二主体部沿竖直方向设置有多个第二承载部,各所述第一承载部与各所述第二承载部一一对应,所述第一承载部和所述第二承载部共同用于承载料片,对应的所述第一承载部和所述第二承载部之间限定出开口。
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