[发明专利]驱动背板和显示面板在审
申请号: | 202211601826.4 | 申请日: | 2022-12-13 |
公开(公告)号: | CN115831977A | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 罗传宝 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/15 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动 背板 显示 面板 | ||
1.一种驱动背板,其特征在于,包括:
基板;
第一导电层,设置在所述基板上,所述第一导电层包括子源极和子漏极;
有源层,设置在所述第一导电层远离所述基板的一侧,所述有源层包括源接触部、漏接触部以及连接所述源接触部和所述漏接触部的沟道部,所述源接触部覆盖部分所述子源极、所述漏接触部覆盖部分所述子漏极,所述沟道部覆盖所述子源极和所述子漏极之间的空隙;
绝缘层,设置在所述第一导电层远离所述基板的一侧,并覆盖所述第一导电层和所述有源层;以及
第二导电层,设置在所述绝缘层远离所述基板的一侧,所述第二导电层包括主漏极和栅极,所述主漏极与所述子漏极连接,所述栅极在所述基板上的正投影至少覆盖所述沟道部在所述基板上的正投影。
2.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述第一导电层的材料和所述第二导电层的材料不同,所述第一导电层的线宽小于所述第二导电层的线宽。
3.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述栅极在所述基板上的正投影与所述子源极在所述基板上的正投影至少部分重叠,所述栅极在所述基板上的正投影与所述子漏极在所述基板上的正投影至少部分重叠。
4.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述栅极在所述基板上的正投影与所述沟道部在所述基板上的正投影重叠,所述源接触部具有第一掺杂区,所述漏接触部具有第二掺杂区。
5.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述驱动背板还包括第三导电层,所述第三导电层位于所述第二导电层远离所述基板的一侧,所述第三导电层包括连接电极,所述连接电极与所述子源极连接,所述连接电极在所述基板上的正投影至少覆盖所述有源层在所述基板上的正投影。
6.根据权利要求5所述的驱动背板,其特征在于,所述第二导电层还包括主源极,所述栅极位于所述主源极和所述主漏极之间,所述主源极与所述子源极连接,所述连接电极与所述主源极连接。
7.根据权利要求5所述的驱动背板,其特征在于,所述连接电极在所述基板上的正投影完全覆盖所述有源层在所述基板上的正投影,并覆盖至少部分所述主漏极在所述基板上的正投影,沿垂直于所述基板的方向,所述连接电极与所述主漏极的重叠部分的长度为2微米至5微米。
8.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述驱动背板还包括第三导电层,所述第三导电层位于所述第二导电层远离所述基板的一侧,所述第三导电层包括连接电极和保护电极;
其中,所述连接电极与所述子源极连接,所述保护电极在所述基板上的正投影至少覆盖所述有源层在所述基板上的正投影。
9.根据权利要求5-8任一项所述的驱动背板,其特征在于,所述第三导电层包括减反射层和导电金属层,所述减反射层设置在所述导电金属层远离所述基板的一侧。
10.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述驱动背板还包括遮光层,所述遮光层设置在所述第一导电层靠近所述基板的一侧,所述遮光层包括遮光件,所述遮光件在所述基板上的正投影覆盖所述有源层在所述基板上的正投影;
所述绝缘层具有第三过孔,所述第三过孔贯穿所述绝缘层,并延伸至所述遮光件,所述第三过孔暴露出所述遮光件远离所述基板的一侧表面,所述遮光件通过所述第三过孔与所述主漏极连接。
11.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述驱动背板还包括遮光层和缓冲层,所述遮光层设置在所述第一导电层靠近所述基板的一侧,所述缓冲层设置在所述第一导电层和所述遮光层之间;
所述遮光层包括遮光件,所述遮光件在所述基板上的正投影覆盖所述有源层在所述基板上的正投影;所述缓冲层具有接触孔,所述接触孔延伸至所述遮光件,并暴露出所述遮光件远离所述基板的一侧表面,所述遮光件通过所述接触孔与所述子漏极连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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