[发明专利]一种搬运晶圆的抓取组件

权利要求书

1.一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，包括水平设置的Y平台(205)，所述Y平台(205)上表面的四个端角处均固设有耳式支座(206)，每两个相邻的耳式支座(206)上均转动连接有翻转轴(207)，所述翻转轴(207)的一端延伸均出其中一个耳式支座(206)，所述翻转轴(207)延伸出耳式支座(206)的一端固定连接有抓手连接块(208)，所述抓手连接块(208)上固定连接有抓取晶圆的机械抓手(209)，所述Y平台(205)上设有驱动机械抓手(209)转动以夹紧晶圆的翻转组件(211)。

2.根据权利要求1所述的一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，所述机械抓手(209)底部开设有若干个与晶圆适配的限位槽，且若干个限位槽阵列式排布，两个相邻的所述翻转轴(207)上套设有对翻转轴(207)起到限位作用的连接板(210)，所述翻转轴(207)与连接板(210)转动连接，所述Y平台(205)上设有驱动机械抓手(209)转动以夹紧晶圆的翻转组件(211)。

3.根据权利要求1所述的一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，所述翻转组件(211)包括嵌套在翻转轴(207)圆周外壁上的翻转板(21101)，所述翻转板(21101)与翻转轴(207)固定连接，所述翻转板(21101)上表面活动连接有随动轮(21102)，两个相邻的所述翻转板(21101)通过两个预压弹簧(21103)固定连接，两个所述预压弹簧(21103)分别位于随动轮(21102)的两侧，两个相邻的所述翻转板(21101)之间设有位于预压弹簧(21103)和Y平台(205)之间的凸轮板(21104)，所述凸轮板(21104)靠近翻转板(21101)的一侧设有斜坡面(21105)，所述随动轮(21102)的外表面与凸轮板(21104)的斜坡面(21105)抵触，所述凸轮板(21104)靠近机械抓手(209)的一端直径小于凸轮板(21104)远离机械抓手(209)一端的直径，所述Y平台(205)上固设有推动凸轮板(21104)移动的导杆气缸(21106)。

4.根据权利要求1所述的一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，所述Y平台(205)下方设有顶板(212)，所述顶板(212)上设有驱动Y平台(205)在Y轴上移动以使得机械抓手(209)对Y轴上不同位置的晶圆进行抓取的Y轴驱动组件(213)。

5.根据权利要求4所述的一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，所述Y轴驱动组件(213)包括位于Y轴上表面的两个固定座(21301)，两个所述固定座(21301)之间转动连接有Y轴丝杆(21302)，所述Y轴丝杆(21302)的一端延伸出其中一个固定座(21301)，所述顶板(212)上表面固设有位于Y轴丝杆(21302)旁侧的Y轴电机(21303)，所述Y轴电机(21303)的输出轴端以及Y轴丝杆(21302)延伸出其中一个固定座(21301)的部分均嵌套有Y轴带轮(21304)，两个所述Y轴带轮(21304)上套设有与其适配的Y轴同步带(21305)，所述Y轴丝杆(21302)的外侧通过螺纹套设有Y轴滑移块(21306)，所述Y轴滑移块(21306)背离顶板(212)的一侧与Y平台(205)固定连接，所述顶板(212)上设有对Y平台(205)的移动起到导向作用的Y轴导向组件(214)。

6.根据权利要求5所述的一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，所述Y轴导向组件(214)包括两个分别设置在顶板(212)上表面两侧的Y轴线轨(21401)，Y轴线轨(21401)与顶板(212)固定连接，Y轴线轨(21401)上套设有与Y轴线轨(21401)滑移连接的Y轴滑块(21402)，所述Y轴滑块(21402)背离Y轴线轨(21401)的一侧与Y平台(205)固定连接。