[发明专利]一种薄膜激光调阻探针卡在审
申请号: | 202211594841.0 | 申请日: | 2022-12-13 |
公开(公告)号: | CN115774132A | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 赖辉信;冯毅龙;杨俊锋;陈美媚 | 申请(专利权)人: | 广州天极电子科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R1/067 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 常祖正 |
地址: | 511400 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 激光 探针 | ||
1.一种薄膜电阻器调阻探针卡,其特征在于,包括:PCB板和探针;
所述PCB板设有开口,用于放置所述探针;
所述探针包括多个并列设置的探针组,每个探针组包括第一探针单元和第二探针单元,所述第一探针单元和第二探针单元相对设置,所述第一探针单元包括两根并列且平行的探针头,所述第二探针单元包括两根并列且平行的探针头。
2.根据权利要求1所述的薄膜电阻器调阻探针卡,其特征在于,所述第一探针单元和第二探针单元之间的距离为700um。
3.根据权利要求1所述的薄膜电阻器调阻探针卡,其特征在于,每个探针单元内的两根探针头之间的距离为120um。
4.根据权利要求1所述的薄膜电阻器调阻探针卡,其特征在于,所述探针组之间的距离为1180um。
5.根据权利要求1所述的薄膜电阻器调阻探针卡,其特征在于,所述探针头的材质为铍铜。
6.根据权利要求1所述的薄膜电阻器调阻探针卡,其特征在于,所述探针包括12个并列设置的探针组。
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