[发明专利]一种基板减薄装置

说明书

本发明公开了一种基板减薄装置，其包括：基座；减薄模块，设置于基座的上部；转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部；所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘；还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂和测量部，所述摆臂的一端连接于所述旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。

技术领域

本发明属于基板减薄技术领域，具体而言，涉及一种基板减薄装置。

背景技术

基板在被分割为半导体芯片之前，通过减薄加工装置来磨削形成有电子电路器件相反侧的背面，从而将基板减薄至预定的厚度。减薄加工装置中，砂轮的移动位置至关重要，需要定期对砂轮的位置进行手动校核，这在一定程度行影响了砂轮位置校核的效率。

现有的砂轮位置校核组件，结构复杂，在砂轮位置校核时，测量模块容易倾斜而卡顿，进而影响位置检测的精度。此外，现有的砂轮位置校核组件长期暴露于切削液与磨屑之中，其表面会附着磨削屑，这也会影响砂轮位置的校核精度。

发明内容

本发明实施例提供了一种基板减薄装置，旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

本发明的实施例提供了一种基板减薄装置，包括：

基座；

减薄模块，设置于基座的上部；

转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部；所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘；

还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂和测量部，所述摆臂的一端连接于所述旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。

在一些实施例中，所述摆臂与所述测量部柔性连接。

在一些实施例中，所述摆臂通过连杆铰接于所述测量部，使得所述测量部能够沿竖直方向适应性移动。

在一些实施例中，所述位置校核组件还包括弹簧，所述弹簧连接于所述摆臂与连杆之间；所述弹簧的数量为一对，其对称设置于所述连杆的两侧。

在一些实施例中，所述旋转部包括转轴和旋转气缸，所述转轴设置于所述旋转气缸的上方，所述摆臂设置于所述转轴的上端。

在一些实施例中，所述测量部的顶部配置有耐磨垫，所述耐磨垫由聚四氟乙烯制成。

在一些实施例中，所述测量部还配置有限位传感器，其与所述检测传感器间隔设置；并且，所述限位传感器的安装位置高于所述检测传感器的安装位置。

在一些实施例中，所述位置校核组件还包括防护罩，其设置于所述吸盘的外侧；所述防护罩的设置位置与所述摆臂的位置相匹配。

在一些实施例中，所述防护罩的侧部配置有开关门，其铰接于所述防护罩，所述摆臂经由所述开关门进出所述防护罩。

在一些实施例中，所述摆臂的顶部配置有限位件，所述摆臂及其连接的测量部位于所述防护罩外侧时，所述限位件的至少部分承托所述开关门，使得所述开关门处于打开状态。

本发明的有益效果包括：

a.摆臂通过四杆机构连接于测量部，四杆机构中的连杆配置有弹簧，以提升测量部竖向移动的顺畅性，避免测量部发生倾斜，保证砂轮位置校核的准确性；

b.测量部配置检测传感器和限位传感器，以对砂轮位置校核形成双层保护，避免砂轮和吸盘硬性抵压于测量部；