[发明专利]一种基板减薄装置

权利要求书

1.一种基板减薄装置，其特征在于，包括：

基座；

减薄模块，设置于基座的上部；

转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部；所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘；

还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂和测量部，所述摆臂的一端连接于所述旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。

2.如权利要求1所述的基板减薄装置，其特征在于，所述摆臂与所述测量部柔性连接。

3.如权利要求2所述的基板减薄装置，其特征在于，所述摆臂通过连杆铰接于所述测量部，使得所述测量部能够沿竖直方向适应性移动。

4.如权利要求3所述的基板减薄装置，其特征在于，所述位置校核组件还包括弹簧，所述弹簧连接于所述摆臂与连杆之间；所述弹簧的数量为一对，其对称设置于所述连杆的两侧。

5.如权利要求1所述的基板减薄装置，其特征在于，所述旋转部包括转轴和旋转气缸，所述转轴设置于所述旋转气缸的上方，所述摆臂设置于所述转轴的上端。

6.如权利要求1所述的基板减薄装置，其特征在于，所述测量部的顶部配置有耐磨垫，所述耐磨垫由聚四氟乙烯制成。

7.如权利要求1所述的基板减薄装置，其特征在于，所述测量部还配置有限位传感器，其与所述检测传感器间隔设置；并且，所述限位传感器的安装位置高于所述检测传感器的安装位置。

8.如权利要求1所述的基板减薄装置，其特征在于，所述位置校核组件还包括防护罩，其设置于所述吸盘的外侧；所述防护罩的设置位置与所述摆臂的位置相匹配。

9.如权利要求8所述的基板减薄装置，其特征在于，所述防护罩的侧部配置有开关门，其铰接于所述防护罩，所述摆臂经由所述开关门进出所述防护罩。

10.如权利要求9所述的基板减薄装置，其特征在于，所述摆臂的顶部配置有限位件，所述摆臂及其连接的测量部位于所述防护罩外侧时，所述限位件的至少部分承托所述开关门，使得所述开关门处于打开状态。