[发明专利]半导体制造过程中质量计量装置有效
申请号: | 202211540969.9 | 申请日: | 2022-12-02 |
公开(公告)号: | CN115831793B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 杨亮亮;陈洪立;俞智勇;梁少敏 | 申请(专利权)人: | 江苏希太芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人: | 章建声 |
地址: | 226300 江苏省南通市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 制造 过程 质量 计量 装置 | ||
1.半导体制造过程中质量计量装置,包括机架(1),所述机架(1)为C形板状结构,其特征在于,所述机架(1)的内部上下滑动安装有用于对半导体晶片传送的传送机构(2),所述机架(1)的底部设有用于对半导体晶片进行旋转的旋转机构(3),所述机架(1)位于旋转机构(3)的上方设有检测机构(5),所述机架(1)的底部设有用于对传送机构(2)进行升降的升降机构(4),所述传送机构(2)与升降机构(4)之间设有传动机构(6),所述旋转机构(3)与升降机构(4)之间设有驱动机构(7),所述传送机构(2)包括上下滑动安装于机架(1)内壁的C形架(201),所述C形架(201)两端相对两侧的内壁分别两两一组对称固定安装有四个辊轮(202),一组两个所述辊轮(202)的外表面套设有传送带(203),相对两个所述辊轮(202)之间固定安装有转轴(204),所述C形架(201)的外表面固定安装有驱动电机(205),所述驱动电机(205)的输出端贯穿C形架(201)的外表面并与其中一个辊轮(202)的转动中心固定安装,所述C形架(201)靠近旋转机构(3)的相对两侧之间固定安装有挡杆(206),所述挡杆(206)位于传送带(203)的上方设置,所述旋转机构(3)包括固定安装于机架(1)底壁的固定安装有支撑台(301),所述支撑台(301)的上表面转动安装有托盘(302),所述托盘(302)上安装有重量传感器(303),所述托盘(302)的底端固定安装有转动轴(304),所述转动轴(304)的底端贯穿支撑台(301)的顶部并与机架(1)的底壁转动安装,所述检测机构(5)包括固定安装于机架(1)顶端的C形板(501),所述C形板(501)相对两侧的外表面之间转动安装有传动螺杆(502),所述C形板(501)相对两侧的外表面之间固定安装有导杆(503),所述传动螺杆(502)的外表面螺纹连接有移动块(504),所述导杆(503)贯穿移动块(504)的外表面并与其滑动安装,所述移动块(504)的底端固定安装有厚度传感器(505),所述C形板(501)的外表面固定安装有传动电机(506),所述传动电机(506)的输出端贯穿C形板(501)的外表面并与传动螺杆(502)的一端端部固定安装。
2.根据权利要求1所述的半导体制造过程中质量计量装置,其特征在于,所述升降机构(4)包括转动安装于机架(1)底壁的升降螺杆(401),所述C形架(201)的底端固定安装有螺纹管(402),所述升降螺杆(401)的顶部插设于螺纹管(402)的内部并与其螺纹连接,所述机架(1)与C形架(201)之间设有限位组件。
3.根据权利要求2所述的半导体制造过程中质量计量装置,其特征在于,所述限位组件包括均匀固定安装于机架(1)底壁的多根限位杆(403),所述C形架(201)的下表面均匀固定安装有多根与限位杆(403)相匹配的限位管(404),所述限位杆(403)插设于限位管(404)的内部并与其滑动安装。
4.根据权利要求1所述的半导体制造过程中质量计量装置,其特征在于,所述传动机构(6)包括固定安装于机架(1)底壁的支撑板(604),所述支撑板(604)上转动安装有轴套管(605),所述轴套管(605)靠近升降螺杆(401)的一端固定安装有第一主动锥齿轮(606),所述升降螺杆(401)底端的外表面固定安装有第一从动锥齿轮(607),所述第一主动锥齿轮(606)与第一从动锥齿轮(607)相啮合,所述机架(1)的外表面插设有传动轴(603),所述传动轴(603)贯穿机架(1)的外表面并与其转动安装,所述传动轴(603)的一端插设于轴套管(605)内,所述传动轴(603)与其中一个辊轮(202)的转动中心处分别固定安装有两个第一带轮(601),两个所述第一带轮(601)的外表面套设有第一皮带(602),所述传动轴(603)与轴套管(605)之间设有啮合组件(8),所述机架(1)的外表面还设有用于张紧第一皮带(602)的张紧机构(9)。
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