[发明专利]一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液及其清洗工艺

权利要求书

1.一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，按质量百分数之和为100%计，所用各原料及其所占质量百分数为：

无机碱 30-35%，

有机胺 1-5%，

有机助剂 5-10%，

表面活性剂 0.1-2%，

余量为高纯水。

2.根据权利要求1所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，所述无机碱为氢氧化锂，氢氧化钠，氢氧化钾，氢氧化锶，氢氧化钙，氢氧化钡，碳酸钠，碳酸钾，碳酸氢钠，碳酸氢钾中至少一种。

3.据权利要求1所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，所述有机胺为单乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，单丙醇胺，2-氨基乙醇，2-（乙基氨基）乙醇，2-（甲基氨基）乙醇，N-甲基二乙醇胺，N,N-二甲基乙醇胺，N,N-二乙氨基乙醇，2-（2-氨基乙基氨基）-1-乙醇，1-氨基-2-丙醇，2-氨基-1-丙醇，3-氨基-1-丙醇，4-氨基-1-丁醇，二丁醇胺中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，所述有机助剂为乙醇、乙二醇、丙二醇、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，所述表面活性剂为甜菜碱型表面活性剂，其化学结构式为：

其中，n为0-3内的整数。

6.根据权利要求5所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，所述表面活性剂的制备方法包括以下步骤：

（1）中间体Ⅰ的合成

将 10g 腰果酚溶于 50mL 二氯甲烷中，0℃下用滴液漏斗缓慢滴加氯磺酸 12g；滴加完毕，升温至25℃，恒温反应 3h；反应混合物溶解于 50mL 乙醇，然后滴加 5mol/L 的氢氧化钠溶液进行中和至反应体系 pH 值为 7，25℃恒温反应 3h，负压过滤除去无机盐，滤液在 40℃下减压蒸馏除去体系中的反应溶剂，得到中间体Ⅰ；

（2）中间体Ⅱ的合成

将6.25mmol 1,2-二溴乙烷溶解于25ml异丙醇中，并加入25mmol碳酸钾，再将1mmol中间体Ⅰ溶解于10ml异丙醇后缓慢地滴入到反应体系中90℃回流反应，反应时间为12h，过滤除碳酸钾，减压旋蒸除溶剂异丙醇，层析柱纯化得到中间体Ⅱ；

中间体的合成

取0.1mol N,N-二甲基-1,3-丙二胺置于三颈烧瓶中，冰浴下加入二氯甲烷溶剂，加入三乙胺搅拌；0℃条件下，取0.05 mol中间体Ⅱ于恒压滴液漏斗，缓慢滴加至反应体系中，反应1h后再将温度升至45℃下反应2h，反应结束置于旋转蒸发仪旋干，加入乙醇溶解多余杂质并过滤，将过滤物烘干后，加入丙酮重结晶，即得到中间体III；

甜菜碱型表面活性剂的合成

取0.1mol中间体III放置于三颈烧瓶中，加入乙醇溶剂，油浴条件下加热搅拌使固体全部溶解；取含有0.12mol氯乙酸钠的水溶液于恒压滴液漏斗，缓慢滴加至反应体系中，加入氢氧化钠水溶液调节反应体系至 pH=8.8，在70℃下反应10h；反应完毕后冷却至室温，用乙醇溶解杂质，过滤，加入丙酮重结晶，即得到甜菜碱型表面活性剂。

7.根据权利要求1所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液，其特征在于，所述返工液的制备方法是往高纯水中先添加无机碱，搅拌至溶解，冷却至室温，再加入有机胺、有机助剂，然后加入表面活性剂，在500rpm的转速下搅拌使其形成均一体系，得到均一稳定澄清透明的溶液。

8.根据权利要求1所述的一种用于CF Rework彩膜工艺中的返工液的清洗工艺，其特征在于，所述清洗工艺包括以下步骤：

A.返工液导入药液槽中，加热至70℃后，机台运行30分钟，使返工液温度升至70℃，再放入玻璃基板清洗；

B.整个清洗过程依次经过3个药液槽，共计10min，3个纯水槽，共计10min；

C.3个药液槽边上各装有一个固液分离器，实现固液分离；

D.3个固液分离器滤芯大小依次是20um、10um和0.45um，防止光刻胶的回粘。