[发明专利]一种晶圆冷扩热缩装置及其冷扩热缩方法

权利要求书

1.一种晶圆冷扩热缩装置，包括机架(1)，其特征在于：还包括设置在机架(1)上的冷扩机构(4)和热缩机构(5)，所述冷扩机构(4)和热缩机构(5)之间设置有用于将冷扩机构(4)中的产品转移至热缩机构(5)中的转移机构(8)。

2.根据权利要求1所述的晶圆冷扩热缩装置，其特征在于：所述冷扩机构(4)包括底板、设置底板上的四个侧板(401)、固定连接四个侧板(401)上端的盖板(402)、可升降的挡板(403)以及驱动挡板(403)升降的三号气缸(404)，其中一个侧板(401)开设有进料口(421)，所述三号气缸(404)设置在开设有进料口(421)的侧板(401)上，所述挡板(403)用于封堵进料口(421)，所述侧板(401)、盖板402)、挡板(403)和底板形成腔体，所述腔体内设置有用于托载产品的托举板(405)和用于顶膜的顶板(406)，所述底板端面竖向设置有一号直线轴承和二号直线轴承，所述一号直线轴承内套设有上端与托举板(405)固定连接的一号导柱(407)，所述一号导柱(407)下端面固定连接有一号板(408)，所述底板下方设置有用于驱动一号板(408)升降的一号升降动力源(409)，所述托举板(405)上设置有通孔，所述二号直线轴承内套设有与顶板(406)固定连接的二号导柱(410)，所述二号导柱(410)下端面固定连接有二号板(411)，所述底板下方设置有用于驱动二号板(411)升降的二号动力源(412)，所述顶板(406)在二号动力源(412)的驱动下可升降的通过通孔，所述腔体内还设置有卡板(413)，所述卡板(413)固定设置在托举板(405)的上方，所述卡板(413)上设置有与一号通孔对应的二号通孔(4131)。

3.根据权利要求2所述的晶圆冷扩热缩装置，其特征在于：所述顶板(402)上设置有透明视窗，所述卡板(413)的下端面上设置有凸起部(4131)，所述托举板(405)的上端面设置有与凸起部(4131)适配的台阶部(4051)，所述台阶部(4051)沿一号通孔环向设置。

4.根据权利要求1所述的晶圆冷扩热缩装置，其特征在于：所述顶板(406)、一号通孔和二号通孔(4131)均为圆形，所述顶板(406)的圆心与一号通孔的圆心在同一竖轴上，所述一号升降动力源(409)为一号气缸，所述二号升降动力源为二号气缸。

5.根据权利要求1所述的晶圆冷扩热缩装置，其特征在于：所述转移机构(8)包括设置在冷扩机构(4)和热缩机构(5)之间的中转台(82)、推移夹取组件(83)以及旋转机械手(81)。

6.根据权利要求1所述的晶圆冷扩热缩装置，其特征在于：所述热缩机构(5)包括设置在机架(1)上的盖板组件(52)、可相对机架(1)升降的安装架、固定设置在机架(1)上且位于安装架下方的固定架以及固定设置在机架(1)上的热吹风组件(51)，所述安装架包括一号架和二号架，所述一号架包括若干可相对机架(1)端面升降的一号导轴(501)、固定设置在一号导轴(501)上端的托板(502)以及与一号导轴(501)下端固定连接的三号板(503)，所述二号架包括若干可相对机架(1)端面升降的二号导轴(504)、固定设置在二号导轴(504)上端的吸板(505)以及与二号导轴(504)固定连接的四号板(506)，所述固定架上设置有用于驱动一号架升降的六号气缸(507)和用于驱动二号架升降的丝杆模组(508)，所述托板(502)上设置有对覆膜进行避位的三号通孔，所述吸板(505)位于三号通孔下方，所述盖板组件(52)包括两条平行设置在机架(1)上的直线导轨(509)、分别滑动设置在两条直线导轨(509)上的移动板(510)、连接两个移动板(510)上端的限位板(511)以及设置在机架(1)上用于驱动移动板(510)相对直线导轨(509)运动的五号气缸(512)，所述限位板(511)上设置有通风孔(5111)，所述吸板(505)上竖向设置有若干吸风孔，所述热吹风组件(51)设置在安装架一侧用于对托板(502)上的产品吹热风。