[发明专利]一种多自由度微动台调节装置与调节方法

说明书

本申请属于喷墨打印技术领域，公开了一种多自由度微动台调节装置与调节方法，所述装置包括：载台底板；承托基板，其上表面设置有四个呈正方形分布的标记点；四个直线导轨副，四个直线导轨副均水平设置，且四个直线导轨副在同一水平面上的投影呈十字排布；四个球铰链，分别连接在承托基板底部正对各标记点的位置，四个直线导轨副分别与四个球铰链连接；四个直线执行器，竖直设置并分别与四个直线导轨副连接；测量组件设置在承托基板上方，并用于测量标记点在参考坐标系的三维坐标；能够实现水平度和高度的精确调整，从而有利于保证OLED工件的打印质量。

技术领域

本申请涉及喷墨打印技术领域，具体而言，涉及一种多自由度微动台调节装置与调节方法。

背景技术

目前，在进行OLED显示器生产时，一般使用喷墨打印方式打印像素点，采用这种方式制备像素点，需要喷头能够准确地把墨液喷涂在目标点位上，为了实现喷墨位置的精确定位，一般要求用于承托OLED工件的台面具有较高的水平度和高度定位精度，否则无法保证产品质量。

因此，需要寻求一种能够实现水平度和高度精确调整的多自由度微动台，从而保证OLED工件的打印质量。

发明内容

本申请的目的在于提供一种多自由度微动台调节装置与调节方法，能够实现水平度和高度的精确调整，从而有利于保证OLED工件的打印质量。

第一方面，本申请提供了一种多自由度微动台调节装置，包括：

载台底板；

承托基板，所述承托基板用于承托OLED工件，所述承托基板的上表面设置有四个标记点，四个所述标记点分别设置在一正方形的四个角点处；在水平状态下，所述正方形的其中两条边与参考坐标系的X轴平行，另两条边与参考坐标系的Y轴平行；

四个直线导轨副，所述直线导轨副包括导向部和滑动部，所述滑动部能够相对所述导向部沿一轴线往复滑动；四个所述直线导轨副均水平设置，且四个所述直线导轨副在同一水平面上的投影呈十字排布；

四个球铰链，四个所述球铰链分别连接在所述承托基板底部正对各所述标记点的位置，四个所述滑动部分别与四个所述球铰链连接；

四个直线执行器，四个所述直线执行器分别与四个所述导向部连接，并分别用于调节所述直线导轨副在参考坐标系的Z轴的位置；

测量组件，所述测量组件设置在所述承托基板上方，并用于测量所述标记点在参考坐标系的三维坐标。

由于球铰链、直线导轨副和直线执行器的配合，通过控制四个直线执行器的位移，可独立地调节四个标记点的高度，各标记点的高度调节是相互解耦的，进而可实现承托基板的上表面的水平度和高度的精确调整，从而有利于保证OLED工件的打印质量。

优选地，所述承托基板为吸盘基板。

从而在实际应用中，承托基板可吸附住OLED工件，能够可靠保证OLED工件在打印过程中不会与承托基板发生相对移动，进一步保证打印质量。

优选地，所述测量组件包括光学相机和高度传感器。

第二方面，本申请提供了一种多自由度微动台调节方法，应用于前文所述的多自由度微动台调节装置，包括步骤：

A1.获取所述承托基板上表面的等效平面度不超过参考值时的第一标记点、第二标记点和第四标记点的标准坐标，并获取目标高度；所述第一标记点为任意一个所述标记点，所述第二标记点为所述正方形在水平状态时与所述第一标记点的连线平行于X轴的所述标记点，所述第四标记点为所述正方形在水平状态时与所述第一标记点的连线平行于Y轴的所述标记点；

A2.获取所述第一标记点、所述第二标记点和所述第四标记点的实测坐标；

A3.根据所述标准坐标和所述实测坐标计算所述承托基板所需的调整角度；