[发明专利]一种多自由度微动台调节装置与调节方法

权利要求书

1.一种多自由度微动台调节装置，其特征在于，包括：

载台底板(1)；

承托基板(2)，所述承托基板(2)用于承托OLED工件，所述承托基板(2)的上表面设置有四个标记点(201)，四个所述标记点(201)分别设置在一正方形(90)的四个角点处；在水平状态下，所述正方形(90)的其中两条边与参考坐标系的X轴平行，另两条边与参考坐标系的Y轴平行；

四个直线导轨副(3)，所述直线导轨副(3)包括导向部(301)和滑动部(302)，所述滑动部(302)能够相对所述导向部(301)沿一轴线往复滑动；四个所述直线导轨副(3)均水平设置，且四个所述直线导轨副(3)在同一水平面上的投影呈十字排布，其中两个直线导轨副(3)的轴线均与第一直线共线，另外两个直线导轨副(3)的轴线均与第二直线共线，且第一直线与第二直线垂直；

四个球铰链(4)，四个所述球铰链(4)分别连接在所述承托基板(2)底部正对各所述标记点(201)的位置，四个所述滑动部(302)分别与四个所述球铰链(4)连接；

四个直线执行器(5)，四个所述直线执行器(5)分别与四个所述导向部(301)连接，并分别用于调节所述直线导轨副(3)在参考坐标系的Z轴的位置；

测量组件(6)，所述测量组件(6)设置在所述承托基板(2)上方，并用于测量所述标记点(201)在参考坐标系的三维坐标。

2.根据权利要求1所述的多自由度微动台调节装置，其特征在于，所述承托基板(2)为吸盘基板。

3.根据权利要求1所述的多自由度微动台调节装置，其特征在于，所述测量组件(6)包括光学相机(601)和高度传感器(602)。

4.一种多自由度微动台调节方法，其特征在于，应用于权利要求1-3任一项所述的多自由度微动台调节装置，包括步骤：

A1.获取所述承托基板(2)上表面的等效平面度不超过参考值时的第一标记点、第二标记点和第四标记点的标准坐标，并获取目标高度；所述第一标记点为任意一个所述标记点(201)，所述第二标记点为所述正方形(90)在水平状态时与所述第一标记点的连线平行于X轴的所述标记点(201)，所述第四标记点为所述正方形(90)在水平状态时与所述第一标记点的连线平行于Y轴的所述标记点(201)；等效平面度是指承托基板(2)上表面各位置点之间的高度偏差的最大值；

A2.获取所述第一标记点、所述第二标记点和所述第四标记点的实测坐标；

A3.根据所述标准坐标和所述实测坐标计算所述承托基板(2)所需的调整角度；

A4.根据所述调整角度，通过各所述直线执行器(5)调节所述承托基板(2)的角度；

A5.根据所述目标高度，通过各所述直线执行器(5)调节所述承托基板(2)的高度。

5.根据权利要求4所述的多自由度微动台调节方法，其特征在于，步骤A3包括：

A301.根据所述标准坐标计算所述承托基板(2)上表面的标准法向量的Z轴坐标值；

A302.根据所述实测坐标计算所述承托基板(2)上表面的实际法向量的X轴坐标值、Y轴坐标值和Z轴坐标值；

A303.根据所述实际法向量的X轴坐标值、Y轴坐标值和Z轴坐标值以及所述标准法向量的Z轴坐标值计算所述承托基板(2)所需的调整角度。