[发明专利]被加工物的加工方法和激光加工装置

权利要求书

1.一种被加工物的加工方法，该被加工物是板状的被加工物，其中，

该被加工物的加工方法具有如下的步骤：

片粘贴步骤，在该被加工物的一个面上敷设热压接片并加热而进行热压接，由此将该热压接片粘贴于该被加工物；

激光束照射步骤，在该片粘贴步骤之后，从该被加工物的另一个面沿着设定于该被加工物的分割预定线照射对于该被加工物具有吸收性的波长的激光束而实施加工；以及

片接合步骤，在该激光束照射步骤之后，将该热压接片再次加热而使该热压接片软化并且对该热压接片进行按压，由此按照将该热压接片的在该激光束照射步骤中与该被加工物一起被加工而形成的分割槽或贯通孔封堵的方式将该热压接片接合。

2.一种激光加工装置，其对板状的被加工物进行加工，其中，

该激光加工装置具有：

保持工作台，其具有对在一个面上粘贴有热压接片的被加工物进行保持的保持面；以及

激光束照射单元，其会聚照射对于该保持工作台所保持的该被加工物具有吸收性的波长的激光束，

该激光加工装置具有：

加热单元，其对粘贴于该被加工物的该热压接片进行加热而使该热压接片软化；以及

按压单元，其对被该加热单元加热的该热压接片进行按压，以使得按照将该热压接片的与该被加工物一起被该激光束照射单元加工而形成的分割槽或贯通孔封堵的方式将该热压接片接合。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

该按压单元设置成与该保持工作台的保持面面对，至少对该被加工物的外周部和该热压接片进行按压。