[发明专利]一种质谱仪真空度实时监测装置

说明书

本发明公开了一种质谱仪真空度实时监测装置，包括监测机构和真空腔体，所述真空腔体一侧安装有监测机构；所述监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，所述主控系统与数据处理系统连接，所述数据处理系统与数据采集系统连接。本发明，监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，主控系统与数据处理系统连接，数据处理系统与数据采集系统连接；可实时监测真空腔体的真空度。

技术领域

本发明涉及质谱仪技术领域，具体是一种质谱仪真空度实时监测装置。

背景技术

质谱是利用电场、磁场或电磁场分离并检测具有不同质荷比离子的一种分析仪器。不同的质谱可用于检测有机、无机、生物等具有不同形态和性质的样品。尽管类型有所不同，总的来说，质谱仪的基本组成包括以下几部分：离子源、离子传输系统，质量分析器、检测采集系统和真空系统。质谱相较于光谱，色谱等科学仪器，具有更好的灵敏度和检出限。而为了实现其优越的仪器性能，良好的真空是必不可少的前提条件之一。

离子一般产生于质谱前端的离子源。在离开离子源，进入到质谱检测系统，最终到达检测器的这一过程中，离子要在电场、磁场或电磁场中飞行一定的时间和空间。如果在这些时间和空间中存在大量的气体，也就是真空条件不好的情况下，离子必然会和气体分子碰撞而损失大量的动能。动能的改变会影响：1.离子平均自由程。微粒的平均自由程是指，在一定的条件下，微粒与其他微粒碰撞所通过的平均距离。离子被质谱仪分离的前提条件之一为，离子的平均自由行程必须大于离子源到检测器的飞行路程。动能部分或完全损失的离子，很有可能将无法达到检测器，导致仪器灵敏度的大大降低；2.离子的运动速率和运动轨迹。两者的改变会导致谱图变形，影响质谱仪的分辨率及测量的准确性。因此，为了减少离子与背景气体的碰撞，必须保持质谱检测系统内部良好的真空，使背景气体分子数量尽量减少。此外，用于分离离子的电场经常会使用到高压射频技术，而用于检测离子的信号放大系统也需要用到高压。如果这两部分的高压曝露于大气或者低真空状态，必然导致系统内部放电，严重干扰到离子的分离和检测，同时将产生非常高的电子噪声。检测器的寿命也会因此大大的降低，变相的提高了仪器的使用成本。

质谱仪的真空腔体，对内部真空度要求比较高，如果不满足真空条件要求，对测试结果影响很大；所以真空度的实时监测至关重要；为此，我们提出一种质谱仪真空度实时监测装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种质谱仪真空度实时监测装置，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种质谱仪真空度实时监测装置，包括监测机构和真空腔体，所述真空腔体一侧安装有监测机构；所述监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，所述主控系统与数据处理系统连接，所述数据处理系统与数据采集系统连接。

优选的，所述监测机构通过连接件固定在真空腔体上。

优选的，所述真空腔体包括壳体和密封盖，所述壳体顶端安装有密封盖，所述壳体和密封盖之间设置有密封圈。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：监测机构包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，主控系统与数据处理系统连接，数据处理系统与数据采集系统连接；可实时监测真空腔体的真空度。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的结构示意图。

图中：1、监测机构；2、真空腔体；3、连接件；21、壳体；22、密封盖。

具体实施方式