[发明专利]一种质谱仪真空度实时监测装置在审
| 申请号： | 202211416630.8 | 申请日： | 2022-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN116183143A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王璐菊;吴海荣;刘天瑞;耿广善;王少勇 | 申请（专利权）人： | 苏州博维仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 质谱仪 真空 实时 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种质谱仪真空度实时监测装置，其特征在于：包括监测机构（1）和真空腔体（2），所述真空腔体（2）一侧安装有监测机构（1）；
所述监测机构（1）包括主控系统、数据处理系统和数据采集系统，所述主控系统与数据处理系统连接，所述数据处理系统与数据采集系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种质谱仪真空度实时监测装置，其特征在于：所述监测机构（1）通过连接件（3）固定在真空腔体（2）上。
3.根据权利要求1所述的一种质谱仪真空度实时监测装置，其特征在于：所述真空腔体（2）包括壳体（21）和密封盖（22），所述壳体（21）顶端安装有密封盖（22），所述壳体（21）和密封盖（22）之间设置有密封圈。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州博维仪器科技有限公司，未经苏州博维仪器科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211416630.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机器人的分布式加热系统和机器人
- 下一篇：防退扭的高速双头扎纱机
