[发明专利]芯片精度测试平台、单电流测试方法及芯片精度测试方法在审
申请号: | 202211415067.2 | 申请日: | 2022-11-11 |
公开(公告)号: | CN116184290A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 刘海洋 | 申请(专利权)人: | 上海兴感半导体有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 吴迪 |
地址: | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 精度 测试 平台 电流 方法 | ||
1.一种芯片精度测试平台,用于测试芯片及芯片阵列,其特征在于,包括:
电流源,所述电流源能够与所述芯片连接,用于向所述芯片提供电流;
电压源,所述电压源能够与所述芯片连接,用于向所述芯片提供电源电压;温箱,所述温箱内设置待测的芯片,所述温箱温度可调以改变所述芯片的环境温度,用于实现所述芯片的环境温度调节;
数据采集装置,用于选择性的采集所述芯片的输出信号;
工控机,所述工控机用于控制所述电流源、所述电压源、所述温箱、以及所述数据采集装置。
2.根据权利要求1所述的芯片精度测试平台,其特征在于,所述数据采集装置包括多路开关和数据读取记录单元,所述多路开关用于分时选通所述芯片的输出信号,所述数据读取记录单元用于读取和记录所述芯片的输出信号。
3.一种单电流测试方法,其特征在于,包括如下步骤:
(a)设置芯片为预定温度;
(b)将电压源设定为设定值,向芯片提供电源电压;
(c)读取电压源的实际输出值;
(d)将所述实际输出值与所述设定值对比,若偏差值小于或等于许可偏差值,则使电流源按给定原边电流值向芯片提供电流,电压源持续工作;
(e)等待设定时间,至电流源输出的电流稳定;
(f)多次读取芯片的输出电压值,并获得多个所述输出电压值的平均值;
(g)设置多个预定温度循环进行步骤(a)~(f)测试;
(h)将相同预定温度下得到的芯片的输出电压值的平均值再次取平均值,作为该预定温度下的芯片的输出电压值的标准值。
4.根据权利要求3所述的单电流测试方法,其特征在于,将所述实际输出值与所述设定值对比,若偏差值大于许可偏差值,则通过调整电压源参数改变电压源的实际输出值,使偏差值小于或等于许可偏差值。
5.根据权利要求3所述的单电流测试方法,其特征在于,设置芯片为预定温度的步骤包括:
提供预设温度;
测量所述芯片的实际温度,若所述芯片的实际温度为所述预设温度,则执行步骤(b)。
6.根据权利要求3所述的单电流测试方法,其特征在于,多个预定温度按照如下方式循环:室温、第一升温区域、第一降温区域、室温、第二降温区域、第二升温区域、室温;所述预定温度第三次设置为室温的测试完毕后,循环测试结束。
7.根据权利要求3所述的单电流测试方法,其特征在于,所述许可偏差值小于或等于5mV。
8.根据权利要求3所述的单电流测试方法,其特征在于,所述设定时间大于或等于10ms。
9.一种芯片精度测试方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供给定原边电流值,采用权利要求3-8任意一项所述的单电流测试方法,获得所述给定原边电流值对应的芯片输出电压值的标准值;
所述给定原边电流值采用-IP、-IP/2、0、IP/2、IP依次执行单电流测试,完成全自动测试流程,其中,IP为原边电流值;
从测试数据中提取理想输出电压值、实际输出电压值、传感系数、以及原边电流值,运算并得出总精度误差。
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