[发明专利]一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构

权利要求书

1.一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，包括生产工序构件(1)、输送机构(2)和储存机构(3)，其特征在于：所述输送机构(2)栓接在生产工序构件(1)的内壁，所述储存机构(3)栓接在输送机构(2)的内壁，所述生产工序构件(1)包括生产工序间本体(101)、入料口(102)和电动输送带(103)，所述入料口(102)开设在生产工序间本体(101)的两侧，所述电动输送带(103)栓接在入料口(102)的右侧，所述输送机构(2)包括承载组件(201)、引导组件(202)、运送组件(203)和传递组件(204)，所述承载组件(201)设在入料口(102)的内壁，所述引导组件(202)栓接在承载组件(201)内壁前侧的两侧，所述运送组件(203)栓接在入料口(102)的内壁，所述传递组件(204)螺纹连接在运送组件(203)的表面，所述储存机构(3)包括储存组件(301)、限位组件(302)、传动组件(303)和闭合组件(304)，所述储存组件(301)栓接在承载组件(201)的内壁，所述限位组件(302)栓接在储存组件(301)的顶部，所述传动组件(303)栓接在限位组件(302)的内壁，所述闭合组件(304)栓接在传动组件(303)的输出端。

2.根据权利要求1所述的一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，其特征在于：所述电动输送带(103)的底部设有支撑腿，所述入料口(102)设为方形，所述生产工序间本体(101)与电动输送带(103)配合使用。

3.根据权利要求1所述的一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，其特征在于：所述承载组件(201)包括承载箱(2011)、螺栓(2012)和减重槽(2013)，所述承载箱(2011)设在入料口(102)的内壁，所述螺栓(2012)栓接在承载箱(2011)的内壁，所述减重槽(2013)开设在承载箱(2011)的顶部。

4.根据权利要求3所述的一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，其特征在于：所述引导组件(202)包括限位板(2021)、滑轮(2022)和限位槽(2023)，所述限位板(2021)栓接在承载箱(2011)内壁前侧的两侧，所述滑轮(2022)转动连接在限位板(2021)的顶部，所述限位槽(2023)开设在限位板(2021)的后侧。

5.根据权利要求4所述的一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，其特征在于：所述运送组件(203)包括电动转杆(2031)、螺纹槽(2032)和固定板(2033)，所述电动转杆(2031)栓接在入料口(102)内壁底部的两侧，所述螺纹槽(2032)开设在电动转杆(2031)的表面，所述固定板(2033)栓接在入料口(102)的顶部，所述固定板(2033)的底部与电动转杆(2031)的顶部转动连接，所述固定板(2033)的后侧与承载箱(2011)的前侧接触。

6.根据权利要求5所述的一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，其特征在于：所述传递组件(204)包括支撑板(2041)、前挡板(2042)和后挡板(2043)，所述支撑板(2041)螺纹连接在螺纹槽(2032)的表面，所述前挡板(2042)栓接在支撑板(2041)前侧相对的一侧之间，所述后挡板(2043)栓接在支撑板(2041)后侧相对的一侧之间。

7.根据权利要求3所述的一种用于独立防护的晶圆生产工序间输送结构，其特征在于：所述储存组件(301)包括储存盒(3011)、存料口(3012)和存料槽(3013)，所述储存盒(3011)栓接在承载箱(2011)的内壁，所述存料口(3012)开设在储存盒(3011)的前侧，所述存料槽(3013)开设在存料口(3012)的后侧。