[发明专利]一种F-P干涉仪及其制备方法

说明书

本申请公开了一种F‑P干涉仪及其制备方法，涉及光学滤波技术领域。该F‑P干涉仪包括MEMS平移组件，以及设置在所述MEMS平移组件上的第一分光镜；所述MEMS平移组件包括基座，以及与所述基座连接的悬臂，所述悬臂上连接有与所述第一分光镜平行的第二分光镜；所述第一分光镜通过所述基座与所述MEMS平移组件连接，所述悬臂能够带动所述第二分光镜靠近或远离所述第一分光镜，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。采用上述形式，能够简化设置形式，降低生产成本，以提升使用时的适用性。

技术领域

本申请涉及光学滤波技术领域，具体而言，涉及一种F-P干涉仪及其制备方法。

背景技术

F-P干涉仪是一种常见的光学滤波器件，其是由两个平行的端面组成的光学腔，两端面对入射光具有半透半反特性，具有窄带的梳状滤波能力，且因F-P干涉仪的滤波波长与形成光学腔的长度高度敏感，所以其又常被用来作为波长可调的滤波器。

常用的F-P波长调节方法办法包括腔内材料折射率调节和腔长的直接调节，其中折射率调节的方法常见有温度调节和液晶调节等，而腔长调节的方法常见为电机的直接控制调节，上述调节形式均需要复杂的结构形式，而且制造成本较高，具有一定的局限性。

发明内容

本申请的目的在于提供一种F-P干涉仪及其制备方法，能够简化设置形式，降低生产成本，以提升使用时的适用性。

本申请的实施例是这样实现的：

本申请实施例的一方面，提供一种F-P干涉仪，包括MEMS平移组件，以及设置在所述MEMS平移组件上的第一分光镜；所述MEMS平移组件包括基座，以及与所述基座连接的悬臂，所述悬臂上连接有与所述第一分光镜平行的第二分光镜；所述第一分光镜通过所述基座与所述MEMS平移组件连接，所述悬臂能够带动所述第二分光镜靠近或远离所述第一分光镜，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。

可选地，所述MEMS平移组件还包括与所述悬臂连接的平移框，所述第二分光镜通过所述平移框与所述悬臂连接。

可选地，所述第一分光镜和所述第二分光镜均为半透半反镜。

可选地，所述第一分光镜包括第一透明基板，所述第一透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第一反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第一增透膜；所述第二分光镜包括第二透明基板，所述第二透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第二反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第二增透膜。

可选地，所述第一分光镜通过胶合剂与所述基座连接。

可选地，所述胶合剂内掺杂有间隔微球，以使所述第一分光镜和所述基座具有预设距离。

可选地，所述基座上设置有导光斜面或通光孔，所述导光斜面或通光孔位于背离所述第一分光镜背离所述腔室的一侧。

本申请实施例的另一方面，提供一种F-P干涉仪的制备方法，应用于如上所述任意一项所述的F-P干涉仪，所述方法包括：

将第二分光镜装配于MEMS平移组件的悬臂上；将第一分光镜装配于所述MEMS平移组件的基座上，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。

可选地，所述第一分光镜和所述第二分光镜的反射率相等时，所述F-P干涉仪满足以下公式：

其中，上述公式中，I_T为出射光强，R为第一分光镜和第二分光镜的反射率，δ为光相位，I₀为入射光强，L为腔室的腔长，λ为所需滤波的波长、θ为光的入射角。

本申请实施例的有益效果包括：