[发明专利]一种F-P干涉仪及其制备方法

权利要求书

1.一种F-P干涉仪，其特征在于，包括MEMS平移组件，以及设置在所述MEMS平移组件上的第一分光镜；所述MEMS平移组件包括基座，以及与所述基座连接的悬臂，所述悬臂上连接有与所述第一分光镜平行的第二分光镜；所述第一分光镜通过所述基座与所述MEMS平移组件连接，所述悬臂能够带动所述第二分光镜靠近或远离所述第一分光镜，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。

2.根据权利要求1所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述MEMS平移组件还包括与所述悬臂连接的平移框，所述第二分光镜通过所述平移框与所述悬臂连接。

3.根据权利要求2所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述第一分光镜和所述第二分光镜均为半透半反镜。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述第一分光镜包括第一透明基板，所述第一透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第一反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第一增透膜；所述第二分光镜包括第二透明基板，所述第二透明基板朝向所述腔室的一侧设置有第二反射膜、背离所述腔室的一侧设置有第二增透膜。

5.根据权利要求1-3任意一项所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述第一分光镜通过胶合剂与所述基座连接。

6.根据权利要求5所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述胶合剂内掺杂有间隔微球，以使所述第一分光镜和所述基座具有预设距离。

7.根据权利要求1-3任意一项所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述基座上设置有导光斜面或通光孔，所述导光斜面或通光孔位于背离所述第一分光镜背离所述腔室的一侧。

8.一种F-P干涉仪的制备方法，应用于权利要求1-7任意一项所述的F-P干涉仪，其特征在于，所述方法包括：

将第二分光镜装配于MEMS平移组件的悬臂上；

将第一分光镜装配于所述MEMS平移组件的基座上，以使所述第一分光镜和所述第二分光镜之间形成距离可调的腔室。

9.根据权利要求8所述的F-P干涉仪的制备方法，其特征在于，所述第一分光镜和所述第二分光镜的反射率相等时，所述F-P干涉仪满足以下公式：

其中，上述公式中，I_T为出射光强，R为第一分光镜和第二分光镜的反射率，δ为光相位，I₀为入射光强，L为腔室的腔长，λ为所需滤波的波长、θ为光的入射角。