[发明专利]半导体制程的监控方法、装置、系统

说明书

本公开公开了一种半导体制程的监控方法、装置、系统，用以提前侦测到预防保养相关参数在短期内发生急剧变化的异常情况进而提前预警，避免造成更多的晶圆报废，降低损失。本公开提供的一种半导体制程的监控方法，包括：获取当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数；其中所述的预防保养相关参数包括所述当前半导体制程中涉及的半导体加工设备的参数，和/或，所述当前半导体制程中涉及的半导体产品的参数；根据所述当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数，进行即将产生的预防保养相关参数的估算，得到估算的预防保养相关参数；当所述估算的预防保养相关参数满足预设的参数异常预警条件时，发出预警信号。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体制程的监控方法、装置、系统。

背景技术

常规单变量分析(UVA，UniVariate Analysis)统计模型，是通过设定上下管制界线(Spec)卡控异常，无法及时侦测到半导体制造设备的预防保养(PreventiveMaintenance，PM)相关参数在短期内出现剧烈变化的异常情况，无法快速侦测，直到差异很大的时候才会触发报警，而此时已经造成了较大的损失，可能已经有超过百片晶圆报废。

发明内容

本公开实施例提供了一种半导体制程的监控方法、装置、系统，用以提前侦测到预防保养相关参数在短期内发生急剧变化的异常情况进而提前预警，避免造成更多的晶圆报废，降低损失。

本公开实施例提供的一种半导体制程的监控方法，包括：

获取当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数；其中所述的预防保养相关参数包括所述当前半导体制程中涉及的半导体加工设备的参数，和/或，所述当前半导体制程中涉及的半导体产品的参数；

根据所述当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数，进行即将产生的预防保养相关参数的估算，得到估算的预防保养相关参数；

当所述估算的预防保养相关参数满足预设的参数异常预警条件时，发出预警信号。

本公开实施例中，通过该方法获取当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数；其中所述的预防保养相关参数包括所述当前半导体制程中涉及的半导体加工设备的参数，和/或，所述当前半导体制程中涉及的半导体产品的参数；根据所述当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数，进行即将产生的预防保养相关参数的估算，得到估算的预防保养相关参数；当所述估算的预防保养相关参数满足预设的参数异常预警条件时，发出预警信号，从而可以提前侦测到预防保养相关参数在短期内发生急剧变化的异常情况进而提前预警，避免了造成更多的晶圆报废，降低了损失。

在一些实施方式中，根据所述当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数，进行即将产生的预防保养相关参数的估算，得到估算的预防保养相关参数，包括：

确定所述当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数中的最近采集的N个数据点；其中，所述N为预设的大于1的整数；

确定所述N个数据点的变化趋势信息；

根据所述N个数据点的变化趋势信息，确定即将产生的预防保养相关参数的M个数据点的变化趋势信息；其中，所述M为预设的大于1的整数；

根据所述M个数据点的变化趋势信息，确定所述M个数据点中的至少一个数据值作为估算的预防保养相关参数。

在一些实施方式中，根据所述当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数，进行即将产生的预防保养相关参数的估算，得到估算的预防保养相关参数，包括：

从当前半导体制程中已产生的预防保养相关参数中的最近采集的N个数据点中，选取第i个数据点和第i+d个数据点，其中，第i个数据点的数据值为a，第i+d个数据点的数据值为b；其中，1≤i＜N；

估算第i+2d个数据点的数据值为2b-a，将2b-a作为估算的预防保养相关参数。