[发明专利]一种提高一致性的切割结构以及在扭矩传感器中的应用

权利要求书

1.一种提高一致性的切割结构，其特征在于，包括经压合后形成的类矩形结构，其中类矩形结构的制备方法如下：

晶片通过反复抛光后，得到椭圆形晶片结构，其中椭圆形晶片结构的中部厚度高于四周处的厚度；

其中以中心处为旋转轴，沿待测量的扭矩的剪切力方向进行旋转，在旋转的同时进行自下而上进行的材料剥离，将椭圆形晶片中的部分材料进行剥离。

2.根据权利要求1所述的一种提高一致性的切割结构，其特征在于，所述椭圆形晶片的材质为压电材料。

3.根据权利要求2所述的一种提高一致性的切割结构，其特征在于，所述的压电材料为二氧化硅或是磷酸镓。

4.根据权利要求1-3中任一权利要求所述的一种提高一致性的切割结构，其特征在于，部分材料的剥离参数如下：

类椭圆形晶片的最大厚度为b，最大长度为a；

螺旋切割圈数为n，单个螺纹槽的高度为d，剥离后的最大厚度为b’；

其中b＝(2n+1)d，b’＝(n+1)d；

其中使用时的剪切力方向为方向Zw，剥离方向与Zw方向相重合，其中剪切力方向与椭圆形晶体的最大平面的夹角小于0.5°；

剥离完成后，类矩形结构的最大长度为a’，最大厚度为b’，其中a’近似等于a。

5.根据权利要求1所述的一种提高一致性的切割结构，其特征在于，所述的圈数为1-4圈。

6.一种扭矩传感器，其特征在于，在按照如权利要求1-6中任一权利要求所述的切割结构对椭圆形晶片进行切割后，得到的类矩形结构，沿着切割方向施加待测量的扭矩，并控制扭矩对晶片的剪切力方向与剥离方向的夹角小于0.5°。

7.根据权利要求6所述的一种扭矩传感器，其特征在于，在压合完成后的类矩形结构的上下端面设置用于感知电荷量的电极板，电极板外界测量单元，电极板的表面与待测扭矩相连。