[发明专利]一种新型限位式硅片承载装置

权利要求书

1.一种新型限位式硅片承载装置，其特征在于，包括承载框以及设置在所述承载框上的载板，其中，所述承载框为由横梁和竖梁构成的框架结构；所述载板中沿其长度方向或/和宽度方向中的其中一侧通过锁紧机构锁紧在所述横梁或/和所述纵梁上，与其相对的一侧则通过柔性安装机构安装在所述横梁或/和所述纵梁上；其中，所述锁紧机构和所述柔性安装机构均为多组，且两者一一对应；所述柔性安装机构包括第一连接件以及弹性元件，其中，所述第一连接件的一端连接在载板上，该第一连接件的另一端设置有所述弹性元件；所述横梁或/和所述纵梁在与所述柔性安装机构对应处设有安装腔体，所述第一连接件伸入到安装腔体中，所述弹性元件的一端作用在所述安装腔体的内壁上，另一端则作用在所述第一连接件上，所述弹性元件的弹力促使所述第一连接件朝远离所述锁紧机构的方向拉紧所述载板。

2.根据权利要求1所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述第一连接件包括第一卡勾以及连接螺栓，其中，所述载板上设置有第一安装槽，所述第一卡勾的弯钩部钩紧在所述第一安装槽上，该第一卡勾远离弯钩部的一侧设置有螺纹孔，所述连接螺栓自所述横梁或/和所述纵梁穿过后与所述螺纹孔连接；所述弹性元件为弹簧，所述弹簧套设在所述连接螺栓上，且该弹簧的一端作用在所述横梁或/和所述纵梁的内壁上，另一端则作用在所述连接螺栓的螺栓头上，所述弹簧的弹力促使所述第一卡勾拉紧所述载板。

3.根据权利要求1所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述承载框包括两根平行设置的竖梁和三根平行设置的横梁，其中，三根平行设置的横梁分别位于所述竖梁的两侧和中部，以此构成两个用于安装载板的空间，对应的，所述载板为两组，两组载板分别位于两个空间内。

4.根据权利要求3所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述锁紧机构为两组，所述柔性安装机构也为两组；两组柔性安装机构安装在位于两侧的横梁上，而两组锁紧机构则安装在位于中部的横梁的两侧，其中，每组锁紧机构为多个，多个锁紧机构沿着所述横梁的长度方向等距排列；对应的，每组柔性安装机构也为多个，多个柔性安装机构沿着所述横梁的长度方向等距排列；在每块载板上，每个柔性安装机构均有一个与其相对的锁紧机构。

5.根据权利要求4所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述锁紧机构包括第二连接件，其中，所述第二连接件包括第二卡勾；所述第二卡勾镶嵌在位于中部的横梁上，且该第二卡勾的弯钩部钩在所述载板上，所述载板上在与所述第二卡勾的弯钩部的对应位置处设置有第二安装槽。

6.根据权利要求5所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，每组载板中，除位于中部的第一安装槽和第二安装槽外，位于两侧的第一安装槽和第二安装槽均沿着所述横梁的长度方向延伸，以此形成可供所述载板发生沿着所述横梁的长度方向上的膨胀变形的变形空隙。

7.根据权利要求6所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述竖梁的两侧设置有用于防止所述载板发生垂直于其平面方向上的变形的限位块，所述限位块为多组，多组限位块沿着所述竖梁的长度方向等距排列；每组限位块上设置有限位槽，所述限位槽沿着所述竖梁的长度方向延伸。

8.根据权利要求7所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，每组限位块的限位槽与所述载板之间存在有可供该载板发生沿着所述横梁的长度方向的膨胀变形的变形间隙。

9.根据权利要求1所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述横梁与所述竖梁连接的部位设置有连接台，所述连接台安装在所述竖梁上，所述横梁的端部通过法兰安装在所述连接台上。

10.根据权利要求9所述的新型限位式硅片承载装置，其特征在于，所述连接台上也设置有用于防止所述载板发生垂直于该载板的平面方向上的变形的凹槽。