[发明专利]一种测试电路及latch up规则验证方法在审

专利信息
申请号: 202211298140.2 申请日: 2022-10-21
公开(公告)号: CN115575789A 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 陈蓓;范茂成 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 测试 电路 latch up 规则 验证 方法
【权利要求书】:

1.一种测试电路,其特征在于,至少包括:

反相器;所述反相器包括顺次连接的第一至第N反相器;Tie-high电路;

所述第一至第N反相器中每个反相器分别包括相互连接的一个NMOS和一个PMOS;

所述第一反相器的输入端连接所述Tie-high电路的输出端;所述第N反相器的输出端悬空;

所述Tie-high电路包括:第一、第二NMOS和第一、第二PMOS;所述第一、第二PMOS的栅极相连;所述第一、第二PMOS的bulk端与各自的源极分别连接至电压VDD;所述第一PMOS的漏极作为所述Tie-high电路的输出端;所述第二PMOS的漏极连接至所述第二NMOS的栅极;

所述第一、第二NMOS的漏极、第一NMOS的栅极共同连接至所述第一、第二PMOS的栅极;所述第一、第二NMOS的bulk端以及各自的源极分别接地;

所述第一至第N反相器中每个反相器的所述PMOS的源极连接电压VDD;所述第一至第N反相器中每个反相器的所述NMOS的源极接地。

2.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于:所述第一至第N反相器的顺次连接方式为:所述第一至第N-1反相器中每个反相器的所述PMOS的漏极与该反相器中的所述NMOS的漏极相连,并顺次连接至下一个反相器中的所述PMOS和NMOS的栅极;所述第一反相器中所述PMOS和NMOS的栅极连接至所述Tie-high电路的输出端。

3.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于:所述测试电路还包括连接在所述Tie-high电路输入端的dummy器件单元以及与所述dummy器件单元输入端连接的END CAP单元;所述dummy器件单元的输出端与所述Tie-high电路的输入端连接。

4.根据权利要求3所述的测试电路,其特征在于:所述测试电路还包括连接在所述第N反相器中PMOS和NMOS漏极的dummy器件单元以及与该dummy器件单元输出端连接的END CAP单元。

5.根据权利要求4所述的测试电路,其特征在于:所述END CAP单元用于接触衬底。

6.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于:所述Tie-high电路用于对所述测试电路产生自偏置。

7.根据权利要求1所述的测试电路,其特征在于:对于所述第一至第N反相器中的PMOS的版图,在同一N阱中,所述PMOS有源区至与该PMOS有源区最近的N+有源区的距离大于30μm时,该测试电路在运行时发生latch up。

8.根据权利要求7所述的测试电路,其特征在于:对于所述第一至第N反相器中的NMOS的版图,在同一P阱中,所述NMOS有源区至与该NMOS有源区最近的P+有源区的距离大于30μm时,该测试电路在运行时发生latch up。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的测试电路的latch up规则验证方法,其特征在于,至少包括:

步骤一、提供所述测试电路;

步骤二、将所述电压VDD的值置为VCC;测试所述电压VDD到地电压VSS之间的电流值Idd1;

步骤三、将所述电压VDD的值加至1.5VCC,之后再降至VCC,测试所述电压VDD到地电压VSS之间的电流值Idd2;

步骤四、将所述电流值Idd1与所述电流值Idd2进行比较,若所述电流值Idd2大于所述电流值Idd1的1.4倍,则所述测试电路在步骤三中的加压过程中发生latch up。

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