[发明专利]干燥空间制造装置及干燥空间制造方法

权利要求书

1.一种干燥空间制造装置，具备：

处理槽，具有内部空间；

伸缩部件，设置在前述处理槽内，并在保留前述内部空间的部分区域的情况下膨胀；

排出部，将前述内部空间气体排出至前述处理槽的外部；

干燥气体供给装置，向前述内部空间供给干燥气体；及，

控制装置，在执行完第一控制之后执行第二控制，其中，所述第一控制使前述伸缩部件膨胀的同时利用前述排出部将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部，所述第二控制使前述伸缩部件收缩的同时利用前述干燥空气供给装置向前述内部空间供给干燥气体。

2.根据权利要求1所述的干燥空间制造装置，其中，前述控制装置在前述第一控制和前述第二控制之间进行如下置换控制：在前述伸缩部件保持膨胀的状态下，借由前述干燥供给装置向前述内部空间供给干燥气体，同时借由前述排出部将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部。

3.根据权利要求1或2所述的干燥空间制造装置，其中，具有对前述内部空间的露点温度进行检测的检测部，

在根据前述内部空间的露点温度变化的参数变为阈值以下后，前述控制装置据此开始前述第二控制。

4.根据权利要求1或2所述的干燥空间制造装置，其中，具有：作业设备，固定在前述处理槽的内底面；及，手套，安装在作为前述处理槽的内壁面之一的作业面上，配置为操作者能够从前述处理槽的外侧操作前述作业设备；

前述伸缩部件设置在前述作业面之外的前述内壁面上。

5.根据权利要求4所述的干燥空间制造装置，其中，前述伸缩部件设置在前述作业面之外的所有前述内壁面及前述处理槽的顶面上。

6.根据权利要求1或2所述的干燥空间制造装置，其中，具有进气装置，将前述处理槽的外部的气体强制吸入用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间，

在前述第一控制中，借由前述进气装置将气体强制吸入前述伸缩空间，从而使前述伸缩部件膨胀。

7.根据权利要求1或2所述的干燥空间制造装置，其中，前述排出部具有将前述内部空间的气体强制排出至前述处理槽的外部的排出装置，

在前述第一控制中，在使前述处理槽的外部的气体能够流入用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间的状态下，借由前述排出装置将前述内部空间的气体强制排出至前述处理槽的外部，从而借由前述内部空间的阴压使前述伸缩部件膨胀。

8.根据权利要求1或2所述的干燥空间制造装置，其中，具有将用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间的气体强制排出至前述处理槽的外部的排气装置，

在前述第二控制中，借由前述排气装置将前述伸缩空间的气体强制排出至前述处理槽的外部，从而使前述伸缩部件收缩。

9.根据权利要求1或2所述的干燥空间制造装置，其中，在前述第二控制中，在使用于使前述伸缩部件伸缩的伸缩空间的气体能够流出至前述处理槽的外部，并且使前述内部空间的气体不能从前述排出部排出至前述处理槽的外部的状态下，借由前述干燥气体供给装置向前述内部空间供给干燥气体，从而借由前述内部空间的阳压使前述伸缩部件收缩。

10.一种干燥空间制造方法，是利用装置进行，所述装置具有：

处理槽，具有内部空间；

伸缩部件，设置在前述处理槽内，并在保留前述内部空间的部分区域的情况下膨胀；

排出部，将前述内部空间气体排出至前述处理槽的外部；及，

干燥气体供给装置，向前述内部空间供给干燥气体；

前述干燥空间制造方法具有如下步骤：

第一步骤，使前述伸缩部件膨胀，同时借由前述排出部将前述内部空间的气体排出至前述处理槽的外部；及，

第二步骤，使在前述第一步骤中膨胀的前述伸缩部件收缩，同时借由前述干燥气体供给装置向前述内部空间供给前述干燥气体。