[发明专利]一种双轴划片机的精度补偿方法及系统

说明书

本发明提供了一种双轴划片机的精度补偿方法及系统，涉及划片机切割技术领域，在对视觉模块进行补偿时，控制第一Y轴带动视觉模块移动至线纹尺的基准刻线零点处，以线纹尺的单位步进长度向第二Y轴方向移动，并记录移动后视觉模块处线纹尺的刻线图像，基于刻线图像对视觉模块进行补偿，在完成对视觉模块的补偿后，对第一Y轴进行补偿，在完成对第一Y轴的补偿后，对第二Y轴进行补偿时，控制第二Y轴对待切割部件进行切割，获取第二Y轴处的切割图像，基于切割图像，对第二Y轴进行补偿。通过对视觉模块、第一Y轴以及第二Y轴三个部件均进行补偿后，最终实现双轴划片机切割精度的提升。

技术领域

本发明涉及划片机补偿领域，具体而言，涉及一种双轴划片机的精度补偿方法及系统。

背景技术

双轴划片机作为晶圆、IC封装加工过程中的一个重要工序的专用设备，对双轴划片机定位精度要求非常高，因传动系统机械精度有限很难达到要求指标，通常情况会采取安装光栅尺并采用补偿机制以提高设备重复定位精度，进而提高双轴划片机切割精度。

现有光栅补偿方法通常是为双轴划片机安装视觉模块，通过视觉识别线纹尺刻度来标定单位步进距离。

因视觉模块与切割刀片通常会有一定的偏移量，而光栅补偿无法做到全程零偏差，因此造成视觉模块与切割刀片精度上存在一定差异，补偿精度并不能完全代表切割精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种双轴划片机的精度补偿方法及系统，能够提高双轴划片机的切割精度。

为了实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：

第一方面，本申请提供了一种双轴划片机的精度补偿方法：

所述双轴划片机包括第一Y轴、第二Y轴、视觉模块以及切割台，所述第一Y轴包括第一主轴，所述第二Y轴包括第二主轴，所述第一主轴和所述视觉模块与所述第一Y轴固定连接，所述切割台上设置有待切割部件或线纹尺，所述方法包括：

在对所述视觉模块进行补偿时，控制所述第一Y轴带动所述视觉模块移动至所述线纹尺的基准刻线零点处，以所述线纹尺的单位步进长度向所述第二Y轴方向移动，并记录移动后所述视觉模块处线纹尺的刻线图像；

基于所述刻线图像中刻线的中心点与所述刻线图像的中心线，对所述视觉模块进行补偿；

在完成对所述视觉模块的补偿后，对所述第一Y轴进行补偿时，控制所述第一Y轴的第一主轴对待切割部件进行切割，确定所述第一主轴处的第一图像；

从所述第一图像中确定所述第一Y轴的第一切割距离；

基于所述第一切割距离对所述第一Y轴进行补偿；

在完成对所述第一Y轴的补偿后，对所述第二Y轴进行补偿时，控制所述第二Y轴对待切割部件进行切割；

获取所述第二Y轴处的切割图像；

基于所述切割图像，对所述第二Y轴进行补偿。

在可选的实施方式中，所述基于所述刻线图像中刻线的中心点与所述刻线图像的中心线，对所述视觉模块进行补偿的步骤，包括：

确定所述刻线图像中刻度的第一中心点与所述刻线图像的第一中心线；

确定所述第一中心点和所述第一中心线之间的第一距离；

基于所述第一距离对所述视觉模块进行补偿。

在可选的实施方式中，所述方法还包括：

在所述第一距离大于预设值时，输出提示信息，以提示用户对所述双轴划片机进行检查。

在可选的实施方式中，所述基于所述第一切割距离对所述第一Y轴进行补偿的步骤，包括：