[发明专利]一种匀胶烘干一体机及匀胶烘干方法

权利要求书

1.一种匀胶烘干一体机，其特征在于，包括：

处理腔室，用于容纳待处理基板，在所述处理腔室中实现所述待处理基板旋转、匀胶和烘干的过程，而无需转移待处理基板；

气体传输装置，所述气体传输装置与所述处理腔室连通，所述气体传输装置包括第一路传输装置、第二路传输装置和第三路传输装置，所述第一路传输装置包括第一传输管及第一加热带，所述第二路传输装置包括第二传输管及第二加热带，所述第三路传输装置包括第三传输管；

第一气体供气单元，所述第一气体供气单元分别向所述第一路传输装置与所述第二路传输装置提供第一气体，所述第一气体通过所述第一传输管或所述第二传输管进入所述处理腔室；

第二气体供气单元，所述第二气体供气单元向所述第三路传输装置提供第二气体，所述第二气体通过所述第三传输管进入所述处理腔室，用于改变所述处理腔室内的湿度；

所述第一传输管中的气体被第一加热带加热至第一预设温度，所述第一预设温度为50℃至70℃；所述第二传输管中的气体被第二加热带加热至第二预设温度，所述第二预设温度为100℃至140℃。

2.根据权利要求1所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，所述气体传输装置还包括第一气体切换单元、第一气体供给管及气体总管；

所述第一传输管和所述第二传输管接入第一气体切换单元，所述第一气体切换单元用于使所述第一传输管中的第一气体或所述第二传输管中的第一气体进入所述第一气体供给管；

所述第三传输管上安装有第三开关阀，所述第一气体供给管与所述第三传输管接入所述气体总管。

3.根据权利要求1所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，所述气体传输装置还包括气体总管，所述第一传输管、所述第二传输管、第三传输管分别接入所述气体总管；

所述气体总管与所述处理腔室连接，所述第一气体及所述第二气体通过所述气体总管汇入所述处理腔室；

所述第一传输管上安装有第一开关阀，所述第二传输管上安装有第二开关阀，所述第三传输管上安装有第三开关阀；

所述第一开关阀与所述第三开关阀开启，所述第二开关阀关闭，实现匀胶；

所述第一开关阀与所述第三开关阀关闭，所述第二开关阀开启，实现烘干。

4.根据权利要求2所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，还包括：总控阀；

所述总控阀安装在所述气体总管上，用于调节进入所述处理腔室的气体流量。

5.根据权利要求1所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，还包括温度监测组件，所述温度监测组件部分位于所述处理腔室的内部，用于监测所述待处理基板的表面温度。

6.根据权利要求5所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，还包括温度调控模块，分别与所述第一加热带和所述第二加热带连接，并与所述温度监测组件电连接，用于获取所述待处理基板表面温度数据，所述温度调控模块，还用于控制所述第一加热带和所述第二加热带的开启或关闭。

7.根据权利要求1所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，还包括：气流调节板；

所述气流调节板位于所述处理腔室的气体入口处，用于调节进入所述处理腔室的气体流动方向。

8.根据权利要求7所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，还包括：角度驱动器，所述角度驱动器位于所述处理腔室外，所述角度驱动器连接所述气流调节板，所述角度驱动器带动所述气流调节板转动调整气体流向。

9.根据权利要求3所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，所述第三传输管和所述气体总管的外围包裹保温材料。

10.根据权利要求1所述的匀胶烘干一体机，其特征在于， 所述第一气体为氮气或惰性气体。

11.根据权利要求1所述的匀胶烘干一体机，其特征在于，所述第二气体为水蒸气，或水蒸气与乙醇的混合气。