[发明专利]一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置

说明书

本发明公开了一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，本发明涉及半导体元件加工技术领域。该半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，包括传送装置，所述传送装置的顶部固定连接有激光检测装置，所述传送装置的表面设有柔性凸起板，所述柔性凸起板的表面中心处开设有放置槽，所述放置槽的底部设有凸起块，所述放置槽的内部设有限位组件，所述限位组件包括限位板，将半导体元件放置在放置槽的内部，并通过凸起块支撑起半导体元件，运行风机产生的气流去除半导体元件上下表面的灰尘，并通过排尘口排出灰尘。

技术领域

本发明涉及半导体元件加工技术领域，具体为一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的；

半导体元件加工流程中会经常用到输送装置，而现有的输送装置在对半导体元件进行输送时不够完善，并未对半导体元件进行保护，容易使待加工的半导体元件容易掺入杂质，进而使半导体元件的电阻率大大下降。

发明内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，解决了待加工的半导体元件容易掺入杂质，进而使半导体元件的电阻率大大下降的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，包括传送装置，所述传送装置的顶部固定连接有激光检测装置，所述传送装置的表面设有柔性凸起板，所述柔性凸起板的表面中心处开设有放置槽，所述放置槽的底部设有凸起块，所述放置槽的内部设有限位组件，所述限位组件包括限位板，所述限位板滑动安装在放置槽的底部，所述限位板的底部固定连接有倾斜板，所述倾斜板的上方设有推压筒，且推压筒滑动安装在放置槽的侧壁处，所述限位板的底部固定连接有复位条，且复位条固定安装在放置槽的底部，所述限位板的顶部通过转轴转动连接有弧形下压板，所述弧形下压板的侧壁固定连接有限位条，且限位条固定安装在倾斜板的顶端，弧形下压板通过限位条的弹性力保持倾斜，所述放置槽的侧壁开设有上下两个排尘口，且两个排尘口分别位于凸起块顶部的上下方，所述传送装置的上方固定连接有固定架，所述固定架的底部固定连接有风机，将半导体元件放置在放置槽的内部，并通过凸起块支撑起半导体元件，运行风机产生的气流去除半导体元件上下表面的灰尘，并通过排尘口排出灰尘，限位板通过复位条的弹性力保持在放置槽的侧壁处，方便人员拿取或者放置半导体元件，同时为了避免气流吹起半导体元件，气流下流推动推压筒挤压限位板，使其抵住半导体元件的侧壁，同时弧形下压板受力下压在半导体元件的上表面，进而避免在清理过程中半导体元件受风力而位移，对其表面产生损伤。

优选的，所述柔性凸起板的侧壁固定连接有过滤筒，所述过滤筒的弯曲处设有过滤孔，通过过滤筒过滤通过排尘口排尘的含有气流的灰尘，避免二次污染。

优选的，所述过滤筒内部的上下方分别滑动连接有毛刷刮板，所述毛刷刮板的表面固定连接有第一弹性条，且第一弹性条固定安装在过滤筒的内壁处。

优选的，所述毛刷刮板的侧壁固定连接有导流板，所述过滤筒的内部靠近排尘口处固定连接有V形分隔板，气流进入过滤筒的内部分隔成上下两股风力，进而同时推动上下方的毛刷刮板推过滤筒的过滤孔进行清理，保持其过滤效果。

优选的，所述排尘口的内部中心处通过转轴转动连接有密封板，所述排尘口的上方固定连接有限位杆，所述限位杆的侧壁固定连接有第二弹性条，且第二弹性条固定安装在密封板的侧壁处。