[发明专利]一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置

权利要求书

1.一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，包括传送装置（1），其特征在于：所述传送装置（1）的顶部固定连接有激光检测装置（8），所述传送装置（1）的表面设有柔性凸起板（7），所述柔性凸起板（7）的表面中心处开设有放置槽（2），所述放置槽（2）的底部设有凸起块（3），所述放置槽（2）的内部设有限位组件（4），所述限位组件（4）包括限位板（401），所述限位板（401）滑动安装在放置槽（2）的底部，所述限位板（401）的底部固定连接有倾斜板（402），所述倾斜板（402）的上方设有推压筒（403），且推压筒（403）滑动安装在放置槽（2）的侧壁处，所述限位板（401）的底部固定连接有复位条（404），且复位条（404）固定安装在放置槽（2）的底部，所述限位板（401）的顶部通过转轴转动连接有弧形下压板（405），所述弧形下压板（405）的侧壁固定连接有限位条（406），且限位条（406）固定安装在倾斜板（402）的顶端，所述放置槽（2）的侧壁开设有上下两个排尘口（407），且两个排尘口（407）分别位于凸起块（3）顶部的上下方，所述传送装置（1）的上方固定连接有固定架（5），所述固定架（5）的底部固定连接有风机（6）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述柔性凸起板（7）的侧壁固定连接有过滤筒（408），所述过滤筒（408）的弯曲处设有过滤孔。

3.根据权利要求2所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述过滤筒（408）内部的上下方分别滑动连接有毛刷刮板（409），所述毛刷刮板（409）的表面固定连接有第一弹性条（410），且第一弹性条（410）固定安装在过滤筒（408）的内壁处。

4.根据权利要求3所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述毛刷刮板（409）的侧壁固定连接有导流板（411），所述过滤筒（408）的内部靠近排尘口（407）处固定连接有V形分隔板（412）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述排尘口（407）的内部中心处通过转轴转动连接有密封板（413），所述排尘口（407）的上方固定连接有限位杆（414），所述限位杆（414）的侧壁固定连接有第二弹性条（415），且第二弹性条（415）固定安装在密封板（413）的侧壁处。

6.根据权利要求5所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述密封板（413）上方的内部设有倾斜槽（416），所述倾斜槽（416）的内部固定连接有伸缩杆（417），所述伸缩杆（417）的外端固定连接有挤压球（418），所述密封板（413）下方的侧壁固定连接有弧形板（419）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述放置槽（2）顶部滑动连接有密封片（420），所述密封片（420）的侧壁固定连接有第三弹性条（421），且第三弹性条（421）固定安装在柔性凸起板（7）的侧壁处，所述柔性凸起板（7）的上方固定连接有弧形架（422），所述弧形架（422）的中心处贯穿有工形件（423），所述工形件（423）的上方套接有弹簧（424）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体元件加工用带有防护功能的输送装置，其特征在于：所述工形件（423）的底部固定连接有第一磁块（425），所述密封片（420）的表面嵌入连接有第二磁块（426），且第一磁块（425）与第二磁块（426）磁性相斥，所述弧形架（422）的顶部固定连接有绝磁层（427），所述传送装置（1）的顶部边缘处固定连接有第三磁块（9），且第三磁块（9）与第二磁块（426）磁性相斥。