[发明专利]一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法

说明书

本发明涉及机械手技术领域，具体公开了一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法，在吸盘吸附固定晶元过程中，首先通过吹尘组件对晶元的待吸附区域的灰尘杂质进行吹除，之后再通过设置的避尘组件对灰尘、杂质进行过滤，避免造成吸盘的堵塞；且对于避尘组件与吹尘组件分别设置有相适配的两套，即第一避尘组件与第一吹尘组件相适配使用；在吸附工作时，避免吸盘端面会有杂质积聚的问题，使其与晶元吸附区域能够进行紧密接触，提高吸附转运工作稳定性，提升晶元整体加工经济效益。

技术领域

本发明涉及机械手技术领域，具体为一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法。

背景技术

晶元作为制作芯片的基本材料，被广泛地应用在电子设备领域中。在晶元的加工过程中，通常需要通过机械手夹持晶元并将晶元传输至指定加工位置；业界内夹持晶元的机械手大多为刚性机械手，其主要包括吸附机构以及机械手本体，其中，机械手本体用于放置晶元，吸附机构利用吸力吸附住晶元。

对于现有技术公告号为CN217009167U、公开日为20220719的中国专利文件公开了晶圆吸附机械手与晶圆吸附装置，其针对现有技术下在芯片的生产过程中，外延片由于生产工艺应力的原因，会产生一定的形变，这会导致晶圆出现翘曲的情况；此时，晶圆与吸附机构之间存在间隙，吸附机构无法与晶圆表面贴合，进而致使吸附机构不能够夹紧发生翘曲晶圆的问题进行改进和优化；即晶圆吸附机械手包括抽吸管、弹性件、吸附件以及密封盖；所述弹性件夹持于所述安装槽的底部与所述吸附件之间，所述吸附件与所述抽吸管之间具有预定间隙，便于发生翘曲的晶圆压在所述吸附件上时，所述吸附件可实现微动调节，进而与所述发生翘曲的晶圆紧密贴合，使所述晶圆吸附机械手不但能够吸附表面水平的晶圆，也能够吸附发生翘曲的晶圆，增大了所述晶圆吸附机械手的适用范围和应用场景。

上述方案以及现有技术下的晶元转运机械手在进行吸附固定时，一般是通过对气体的抽吸，对晶元片进行吸附固定，在进行吸附工作时，通常是将吸盘贴在晶元片上，之后通过抽吸气体使其贴附在吸盘上，在吸附时，对于晶元片上粘附的灰尘也会进行吸附，长时间工作下会造成吸盘堵塞，对于晶元的吸附转运工作效率具有影响，且灰尘杂质也会粘附在吸盘的端面上，对于吸盘与晶元的接触紧密性也会造成影响，进而也会将其转运工作稳定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，包括机械手主体、支撑架、吸盘、吸附孔，所述机械手主体上固定连接设置有支撑架，支撑架的底端边角位置固定设置有吸盘，吸盘中设置有吸附孔；

所述吸盘上设置有避尘组件，在对晶元进行吸附转运工作时，能够避免吸盘的堵塞，且吸盘上还设置有相应的吹尘组件，在对晶元吸附工作时，能够将其吸附区域的灰尘进行清除，避免粘附积聚在吸盘的端面，保证吸盘与晶元的吸附固定紧密性。

优选的，对于避尘组件可以选用第一避尘组件，所述第一避尘组件包含有活动腔、活动封块、传动条、复位弹簧、对接斜坡、第一避尘孔、第二避尘孔、弧形传动斜槽、活动外齿环、主动齿轮、固定环、控制马达，所述活动腔对称设置在吸盘中，活动腔设置在吸附孔的边侧位置，且两者相连通设置，所述活动封块活动设置在活动腔中，且活动封块的一端固定设置有传动条，另一端的两侧对称设置有对接斜坡，所述活动封块在与传动条相连接端固定设置有复位弹簧，复位弹簧另一端固定设置在活动腔中，所述传动条的一端延伸至弧形传动斜槽中，所述第一避尘孔等距贯穿设置在活动封块中，所述第二避尘孔等距贯穿设置在传动条中，所述弧形传动斜槽等距设置在活动外齿环内侧壁，且活动外齿环活动设置在固定环中，所述固定环固定设置在吸盘外侧壁，所述活动外齿环的边侧位置啮合连接设置有主动齿轮，所述主动齿轮活动设置在固定环中，且主动齿轮固定设置在转轴的一端，转轴插接设置在固定环中，转轴另一端固定连接设置有控制马达，控制马达固定设置在固定环上。

优选的，所述活动封块等距设置有四组，且活动封块一端对称设置的对接斜坡所形成的夹角为直角。