[发明专利]一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手及其加工方法

权利要求书

1.一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，包括机械手主体（1）、支撑架（2）、吸盘（3）、吸附孔（4），所述机械手主体（1）上固定连接设置有支撑架（2），支撑架（2）的底端边角位置固定设置有吸盘（3），吸盘（3）中设置有吸附孔（4）；

其特征在于：所述吸盘（3）上设置有避尘组件，在对晶元进行吸附转运工作时，能够避免吸盘（3）的堵塞，且吸盘（3）上还设置有相应的吹尘组件，在对晶元吸附工作时，能够将其吸附区域的灰尘进行清除，避免粘附积聚在吸盘（3）的端面，保证吸盘（3）与晶元的吸附固定紧密性；

对于避尘组件选用第一避尘组件（5），所述第一避尘组件（5）包含有活动腔（501）、活动封块（502）、传动条（503）、复位弹簧（504）、对接斜坡（505）、第一避尘孔（506）、第二避尘孔（507）、弧形传动斜槽（508）、活动外齿环（509）、主动齿轮（510）、固定环（511）、控制马达（512），所述活动腔（501）对称设置在吸盘（3）中，活动腔（501）设置在吸附孔（4）的边侧位置，且两者相连通设置，所述活动封块（502）活动设置在活动腔（501）中，且活动封块（502）的一端固定设置有传动条（503），另一端的两侧对称设置有对接斜坡（505），所述活动封块（502）在与传动条（503）相连接端固定设置有复位弹簧（504），复位弹簧（504）另一端固定设置在活动腔（501）中，所述传动条（503）的一端延伸至弧形传动斜槽（508）中，所述第一避尘孔（506）等距贯穿设置在活动封块（502）中，所述第二避尘孔（507）等距贯穿设置在传动条（503）中，所述弧形传动斜槽（508）等距设置在活动外齿环（509）内侧壁，且活动外齿环（509）活动设置在固定环（511）中，所述固定环（511）固定设置在吸盘（3）外侧壁，所述活动外齿环（509）的边侧位置啮合连接设置有主动齿轮（510），所述主动齿轮（510）活动设置在固定环（511）中，且主动齿轮（510）固定设置在转轴的一端，转轴插接设置在固定环（511）中，转轴另一端固定连接设置有控制马达（512），控制马达（512）固定设置在固定环（511）上。

2.根据权利要求1所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：所述活动封块（502）等距设置有四组，且活动封块（502）一端对称设置的对接斜坡（505）所形成的夹角为直角。

3.根据权利要求1所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：所述弧形传动斜槽（508）与传动条（503）、活动封块（502）三者设置位置相对应、设置组数相同，且传动条（503）延伸至弧形传动斜槽（508）中的端部设置为弧形面。

4.根据权利要求1所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：与所述第一避尘组件（5）相适配的吹尘组件为第一吹尘组件（6），所述第一吹尘组件（6）包含有第一喷气管（601）、环形输送管（602）、第一输气管（603）、方形喷气槽（604），所述第一喷气管（601）等距固定设置在进气口位置，进气口等距设置在吸盘（3）中，且进气口与活动腔（501）相连通设置，第一喷气管（601）与环形输送管（602）固定连接，且环形输送管（602）的一侧相连通固定设置有第一输气管（603），所述方形喷气槽（604）等距设置在吸盘（3）的底端面，且方形喷气槽（604）与活动腔（501）相连通设置。

5.根据权利要求4所述的一种无堵塞晶元加工转运吸附机械手，其特征在于：所述方形喷气槽（604）与活动腔（501）、进气口、第一喷气管（601）设置位置相对应、设置组数相同。