[发明专利]一种纳米带热阻接触方法及装置

权利要求书

1.一种纳米带热阻接触装置，其特征在于，所述装置包括：热源、热沉、纳米带、毛细管、湿润用液体、微操纵仪和电极；

所述热源和热沉并行构成悬空微器件；所述纳米带的两端分别搭接在所述热源和热沉上；所述湿润用液体用于湿润所述热源和热沉；

所述毛细管固定于所述微操纵仪上；所述毛细管内注入有所述湿润用液体并插入所述电极，所述电极用于导电；

所述电极和所述热源上施加电势差条件下，所述毛细管中的湿润用液体喷射到所述热源表面形成液膜；去除所述电势差条件下，所述液膜挥发，所述纳米带紧贴于所述热源，所述纳米带同所述热源之间的接触热阻降低；

所述微操纵仪用于操作所述纳米带位置和用于操控所述毛细管的出液口移至所述热源的侧上方。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微操纵仪的操作在光学显微镜下进行。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述毛细管的一端尖头设计用作出液口；所述毛细管的另一端作为液体注入口。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述毛细管尖头处内径为1微米；所述毛细管的另一端处内径为0.5毫米。

5.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述毛细管与所述待润湿的热源和热沉不接触。

6.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述电极7为与所述润湿用液体不发生反应的导电材料。

7.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述电势差为1.5kV。

8.一种纳米带热阻接触方法，其特征在于，所述方法用于权利要求1至7任一所述的纳米带热阻接触装置，所述方法包括：

第一步，在光学显微镜下，所述微操纵仪将所述纳米带搭接在所述热源和热沉上；

第二步，向所述毛细管中注入用于润湿所述热源和热沉的湿润用液体；

第三步，所述微操纵仪固定住所述毛细管，并在所述毛细管中插入所述电极；

第四步，在所述光学显微镜下，所述微操纵仪带动所述毛细管的出液口移至所述热源的侧上方；

第五步，在所述电极和所述热源上施加所述电势差，在所述电势差作用下，所述毛细管中的湿润用液体喷射到所述热源表面形成液膜；

第六步，去掉所述电势差，所述液膜挥发，所述纳米带紧贴于所述热源，所述纳米带同所述热源之间的接触热阻降低；

第七步，重复第四步至第六步直至完成对所述热沉的湿润，所述微操纵仪将所述纳米带的另一端贴紧在所述热沉上。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

调节所述电势差大小和施加时长来控制喷射到所述热源和所述热沉上液体的流量和总量。