[发明专利]器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构

权利要求书

1.一种器件镀膜方法，其特征在于，包括：

提供载具，将待镀膜器件设置在所述载具上；

提供镀膜轨道和托盘，所述镀膜轨道具有相互对接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端对接，所述托盘与镀膜轨道配合，能够在镀膜轨道上往复移动；

将设置有待镀膜器件的载具安装在托盘上，采用物理气相沉积方式进行镀膜，镀膜轨道的第一段坡道和第二段坡道的对接处位于镀膜源下方，镀膜时，托盘带动载具往复移动，在待镀膜器件的正面和侧面形成镀膜层。

2.如权利要求1所述的器件镀膜方法，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道均倾斜设置，且相对于水平面的倾斜角度相同。

3.如权利要求2所述的器件镀膜方法，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道所呈角度a大于等于120°且小于180°。

4.如权利要求1所述的器件镀膜方法，其特征在于，所述待镀膜器件摆放方向与载具运动方向形成一角度b。

5.如权利要求4所述的器件镀膜方法，其特征在于，所述角度b大于等于30°且小于等于60°。

6.如权利要求1所述的器件镀膜方法，其特征在于，所述托盘包括基座以及转动设置在基座上的可转动部，所述载具用于安装在所述可转动部上，所述可转动部具有多个工作位，在不同的工作位，所述可转动部相对基座的转动角度不同。

7.如权利要求1所述的器件镀膜方法，其特征在于，所述待镀膜器件通过双面胶层固定在载具上，所述双面胶层的一个表面与所述载具粘接，另一个表面与待镀膜器件的背面粘接。

8.一种镀膜轨道，其特征在于，具有相互对接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端对接，镀膜轨道的第一段坡道和第二段坡道的对接处用于设置在物理气相沉积设备的镀膜源的正下方。

9.如权利要求8所述的镀膜轨道，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道均倾斜设置，且相对于水平面的倾斜角度相同。

10.如权利要求9所述的镀膜轨道，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道所呈角度大于等于120°且小于180°。

11.一种器件镀膜机构，其特征在于，包括：

镀膜源；

镀膜轨道，所述镀膜轨道具有相互对接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端对接，镀膜轨道的第一段坡道和第二段坡道的对接处位于镀膜源的正下方；

托盘，所述托板与镀膜轨道配合，能够在镀膜轨道上往复移动；

载具，所述载具安装在所述托盘上，所述载具用于承载待镀膜器件。

12.如权利要求11所述的器件镀膜机构，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道均倾斜设置，且相对于水平面的倾斜角度相同。

13.如权利要求12所述的器件镀膜机构，其特征在于，所述第一段坡道和第二段坡道所呈角度大于等于120°且小于180°。

14.如权利要求11所述的器件镀膜机构，其特征在于，所述载具上具有双面胶层，所述双面胶层的一个表面与所述载具粘接，另一个表面用于与待镀膜器件的背面粘接。

15.如权利要求11所述的器件镀膜机构，其特征在于，所述托盘包括基座以及转动设置在基座上的可转动部，所述载具用于安装在所述可转动部上，所述可转动部具有多个工作位，在不同的工作位，所述可转动部相对基座的转动角度不同。