[发明专利]一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统及方法

说明书

本申请公开了一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统及方法，涉及剥离液废液再生剥离液领域，包括：废液储罐，精馏系统，冷凝器，废液输送泵，轻组分储罐，有机成分储罐和成品罐；所述废液储罐用于存储剥离液废液；所述精馏系统包括再沸器，超重力旋转床；所述废液输送泵用于将废液储罐中的剥离液废液注入再沸器和超重力旋转床中；本发明基于超重力精馏技术并在此基础上采用侧线出料，不仅有效避免产品与水等轻组分的混合，保证了回收实现剥离液废液再生提纯液达到电子级标准。

技术领域

本发明属于剥离液废液再生剥离液领域，具体是一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统及方法。

背景技术

随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量大大增加，剥离液的大量使用的同时也产生大量的剥离液废液。

现有的废剥离液回收利用工艺中，专利CN102951761A公开了一种光刻胶剥离液废液的回收方法，经沉淀、吸附和蒸馏三种分离方式，将光刻胶组分和光刻胶剥离液组分从光刻胶剥离液废液中分离出来。

专利CN109970591A公开了一种从废剥离液中回收高纯N-甲基甲酰胺的工艺。但该技术方案中均未涉及从废剥离液中回收高纯N-甲基吡咯烷酮(NMP)。

专利CN102167405A，202010498022 .0公布了从含NMP的剥离液回收提纯技术，但所提纯后的产品也并未达到99.9%级别。

目前关于废剥离液回收再利用，专利CN208493283U报道了采用三级超重力精馏的方式，但是其主要是解决剥离液中光刻胶的问题，且其公开报道的回收再利用方法得到的有效成分，无法明确满足产品的具体指标要求，特别是不能满足电子级（99.9%，有机剥离液对水分的要求非常高，要求在1000ppm以内）剥离液指标的要求。而且在国家“碳达峰”和“碳中和”的“30/60”目标下，剥离液废液的提纯与再利用的技术开发成为企业重点工作。

超重力精馏是一项强化传质、混合和反应新技术。关于超重力精馏装置的专利 (详见中国专利 200920247008.2，201220066902.1，ZL01268009.5 等 ) 已经公开。

201310348152.6公开了一种减压精馏超重力机。超重力精馏的气液传质是在几十倍于重力的超重力场中进行的，其气液微元在超重力场下，被撕裂成微米或纳米级的液膜及液丝，产生大量的快速更新的表面积，大大强化传质和混合过程，使传质效率比传统塔设备提高 1-3个数量级。超重力精馏机有设备体 积小、能耗小、停留时间短、便于开停车、安装维修方便、操作弹性大等传统精馏设备无法比拟的优势。

剥离液废液的再生剥离液的工艺主要包括：有效组分的提纯和以此提纯液为原料的成品复配精制，有效组分提纯包括：轻组分去除段，重组分去除，但提纯液的各组分的浓度比例不一定符合成品的要求，所以需要进一步复配精制，根据提纯液的组分浓度添加不同比例的组分，已满足成品的要求。

发明内容

解决的技术问题：

针对现有技术的不足，本发明提供了一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统及方法，解决了背景技术中提到的问题。

技术方案：

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统，包括：废液储罐，精馏系统，冷凝器，废液输送泵，轻组分储罐，有机成分储罐和成品罐；

所述废液储罐用于存储剥离液废液；