[发明专利]一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统及方法

权利要求书

1.一种超重力精馏实现剥离液废液再生的系统，其特征在于，包括：废液储罐，精馏系统，冷凝器，废液输送泵，轻组分储罐，有机成分储罐和成品罐；

所述废液储罐用于存储剥离液废液；

所述精馏系统包括再沸器，超重力旋转床；

所述废液输送泵用于将废液储罐中的剥离液废液注入再沸器和超重力旋转床中；

所述冷凝器用于冷却废液蒸汽；

所述轻组分储罐用于存储轻组分剥离液废液；

所述有机成分储罐用于有机成分剥离液废液；

所述成品罐用于存储再生的剥离液。

2.如权利要求1所述的一种超重力精馏实现剥离液废液再生的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、轻组分去除，将废液储罐中的剥离液废液通过真空泵打入再沸器和超重力旋转床，废液中的轻组分通过再沸器塔顶以蒸汽优先进行脱除，经过冷凝器冷凝后进入轻组分储罐收集处置；

S2、重组分去除1为避免与轻组分的交叉出料，设计了有机成分在再沸器塔顶侧线出料，然后经冷凝器冷凝后进入有机成分储罐；

S1、精制复配，将侧线出料的有机成分通过添加一定比例的添加剂、抗蚀剂后复配成剥离液成品，存储在成品罐中。

3.如权利要求2所述的一种超重力精馏实现剥离液废液再生的方法，其特征在于：所述轻组分包括水以及沸点低的有机组分。

4.如权利要求2所述的一种超重力精馏实现剥离液废液再生的方法，其特征在于：所述重组分包括光刻胶、金属离子重组分。

5.如权利要求4所述的一种超重力精馏实现剥离液废液再生的方法，其特征在于：所述重组分以塔底釜残液的形式出料收集。