[发明专利]一种轴向单管功率器件的封装方法在审
| 申请号: | 202211219033.6 | 申请日: | 2022-10-08 |
| 公开(公告)号: | CN115295479A | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
| 发明(设计)人: | 翟露青;彭宝刚;张永超 | 申请(专利权)人: | 淄博美林电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/60;H01L21/331 |
| 代理公司: | 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37275 | 代理人: | 高鹏飞 |
| 地址: | 255000 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 轴向 功率 器件 封装 方法 | ||
1.一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、使用芯片自动装填机,将芯片装填到芯片承载盘内;
步骤2、使用导线装填机,将导线分别装填到上焊接盘、下焊接盘内;
步骤3、在装入导线的上焊接盘、下焊接盘内,装入焊片;
步骤4、芯片正面朝下,装入下焊接盘内;
步骤5、上焊接盘、下焊接盘合盘后,进焊接炉焊接;
步骤6、清洗后,成型、压膜,得到IGBT单管成品。
2.根据权利要求1所述的一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于:在步骤1中,使用芯片装填机,将芯片正面朝上放入芯片承载盘上的凹槽内,芯片承载盘上有与芯片长宽一致的凹槽,且每个凹槽底部有通气孔,通气孔之间相互连接,之后与外部真空机连接,芯片放入芯片承载盘后,通过外部真空可将芯片吸附于芯片承载盘上的凹糟内,且倒置后芯片不会脱落。
3.根据权利要求1所述的一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于:在步骤2中,所述焊接盘内设有用于盛放导线与芯片的两级台阶的凹槽,台阶高度由导线长度及芯片厚度决定,焊接盘与芯片承载盘上均有定位销,可使焊接盘内凹槽与芯片承载盘内凹槽位置一一对应,导线装入焊接盘后,在导线钉头上均匀刷助焊剂,所述芯片包括电极一、电极二、电极三,所述导线包括与电极一配合的导线一、与电极二配合的导线二及与电极三配合的导线三。
4.根据权利要求1所述的一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于:在步骤3中,所述焊片包括焊片一、焊片二、焊片三,焊片一与电极一对应、焊片二与电极二对应、焊片三与电极三对应,使用可真空吸附的焊片吸盘,将焊片一、焊片二、焊片三分别装入对应凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于:在步骤4中,所述芯片承载盘倒置后,芯片正面朝下,放入下焊接盘内。
6.根据权利要求3所述的一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于:在步骤5中,所述导线一焊接在芯片的电极一上,导线二焊接在芯片的电极二上,导线三焊接在芯片的电极三上,焊接过程中,根据芯片与焊片的不同,调节焊接温度与时间,焊接温度400~520摄氏度,焊接时间30秒~60秒,焊接过程中,焊接炉内通氮气防止氧化。
7.根据权利要求1所述的一种轴向单管功率器件的封装方法,其特征在于:在步骤6中,所述焊接后的IGBT芯片,使用超声波清洗机对焊接残留物进行清洗,然后使用环氧树脂成型胶将晶粒密封,以便降低外在因素影响晶粒特性,并且提高抗机械应力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





