[发明专利]半导体动态生产周期数据收集方法和装置

权利要求书

1.一种半导体动态生产周期数据收集方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、获取生产线上各已作业工件在各工序上作业的历史出货记录并形成第一数据集；

步骤二、进行生产周期计算，包括：

步骤21、根据所述第一数据集的数据计算相同产品在各相同工艺阶段的相同工艺设备群中的作业时间、等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第一生产周期；

步骤22、根据所述第一数据集的数据并变换所述产品、工艺平台或所述工艺阶段计算相同的所述工艺设备群的作业时间、等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成辅助生产周期；

步骤三、按照优先填充原则进行生产周期融合得到未作业工件在各工序上的生产周期预测值；

所述优先填充原则是按照所述产品、所述工艺平台、所述工艺阶段和所述工艺设备群中的类型相同数量的多少来确定，类型相同数量越多、优先等级越高，所述第一生产周期具有最高优先等级；

对于所述未作业工件的一个所述工序，存在所述第一生产周期时，采用所述第一生产周期作为所述生产周期预测值；不存在所述第一生产周期时，按照所述优先填充原则选定所述辅助生产周期作为所述生产周期预测值。

2.如权利要求1所述的半导体动态生产周期数据收集方法，其特征在于：步骤22中，所述辅助生产周期包括第一辅助生产周期，采用如下分步骤得到：

步骤22a、根据所述第一数据集的数据计算相同所述工艺平台的所有所述产品在各相同的所述工艺阶段的相同工艺设备群中的作业时间、等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第一辅助生产周期。

3.如权利要求2所述的半导体动态生产周期数据收集方法，其特征在于：步骤22中，所述辅助生产周期包括第二辅助生产周期，采用如下分步骤得到：

步骤22b、根据所述第一数据集的数据计算各相同的所述工艺阶段的所有所述产品在相同工艺设备群中的作业时间、等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第二辅助生产周期，所述第一辅助生产周期的优先等级大于所述第二辅助生产周期的优先等级。

4.如权利要求3所述的半导体动态生产周期数据收集方法，其特征在于：步骤22中，所述辅助生产周期包括第三辅助生产周期，采用如下分步骤得到：

步骤22c、根据所述第一数据集的数据计算所有所述产品在相同工艺设备群中的作业时间、等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第三辅助生产周期，所述第二辅助生产周期的优先等级大于所述第三辅助生产周期的优先等级。

5.如权利要求1所述的半导体动态生产周期数据收集方法，其特征在于：步骤一中，所述历史出货记录包括：所述工艺平台、产品名称、工件名、工艺流程、所述工艺设备群、工艺阶段、工序顺序、数量、所述作业时间、所述等待时间和所述停滞时间。