[发明专利]一种EB-PVD涂层用的定位工装、加工设备及加工方法

说明书

本发明公开了一种EB‑PVD涂层用的定位工装、加工设备及加工方法，包括装料组件和载料组件，载料组件可拆卸设置在装料组件上，装料组件包括定位套筒，装料盘和定位板均同轴固定设置在连接轴的一端上，装料盘与定位板的一侧端面接触，定位套筒同轴固定设置在定位板的另一侧端面上，定位套筒的外壁上设置有至少三个定位面，定位套筒上所有的定位面呈正多边形设置，载料组件可拆卸设置在装料盘上，载料组件与定位面接触且配合，需要涂层的零件安装于载料组件上。每次装夹时，不需要操作者仔细调节零件的角度，以保证零件旋转至靶源正上方时，待涂层表面正对靶源，只需将载料壳体的接触面贴合到定位套筒的定位面上即可，缩短操作时间，从而提高工作效率。

技术领域

本发明涉及涂层技术领域，特别涉及一种EB-PVD涂层用的定位工装、加工设备及加工方法。

背景技术

EB-PVD(Electron Beam Physical Vapor Deposition)电子束物理气相沉积技术(后续正文中简称为EB-PVD)，是利用电子枪产生的高能电子束作为加热源，可将常规方法无法加热的金属或陶瓷靶加热至蒸发，随后气态原子沉积到零件表面，形成一层极薄的保护涂层，如抗氧化涂层、抗腐蚀涂层、热障涂层等，以提高零件(如航空发动机的涡轮叶片)的抗氧化性能、抗腐蚀性能、抗高温性能。

现有EB-PVD涂层技术装夹涡轮叶片过程中，需要将待涂层的叶片装入保护工装：操作者手握保护工装，肉眼水平观察叶片并调节叶片的角度，将叶片的涂层区域(一般为叶片的叶盆区域)调节至观察者的正前方，以保证在涂层时，叶片的涂层区域正对靶源，而非涂层区域一般为叶片的叶背区域)背对靶材，随后用螺母将工装安装并固定在装料盘上。每次调节叶片角度，用时较长，且很难保证每次装夹时，不同叶片的角度不能保证一致性，这会导致不同叶片和/或不同炉批的涂层质量一致性差的问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种EB-PVD涂层用的定位工装、加工设备及加工方法。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种EB-PVD涂层用的定位工装，包括装料组件和载料组件，所述载料组件可拆卸设置在所述装料组件上，所述装料组件包括连接轴、装料盘、定位板和定位套筒，所述装料盘和所述定位板均同轴固定设置在所述连接轴的一端上，所述装料盘与所述定位板的一侧端面接触，所述定位套筒同轴固定设置在所述定位板的另一侧端面上，所述定位套筒的外壁上设置有至少三个定位面，所述定位套筒上所有的所述定位面呈正多边形设置，所述载料组件可拆卸设置在所述装料盘上，所述载料组件与所述定位面接触且配合，需要涂层的零件安装于所述载料组件上。

进一步地，所述载料组件包括连接杆和载料壳体，所述连接杆的一端与所述装料盘可拆卸连接，所述载料壳体固定设置在所述连接杆的另一端上，所述载料壳体上设置有若干用于安装所述零件的固定槽，所述固定槽的反向侧设置有接触面，所述接触面与所述定位面配合。

进一步地，所述连接轴的端部设置有限位凸环，所述定位板的中部同轴设置有贯穿的第一安装孔，所述装料盘的中部同轴设置有贯穿的第二安装孔，所述连接轴的一端依次从所述第一安装孔、所述第二安装孔中穿出，所述限位凸环与所述定位板的内壁接触，所述连接轴上设置有将所述装料盘和所述定位板固定在所述连接轴上的卡子，所述连接轴上设置有与所述卡子配合的卡孔。

进一步地，所述第一安装孔上设置有第一花键槽，所述连接轴上设置有第二花键槽，所述第二安装孔上设置有第三花键槽，所述第一花键槽、所述第二花键槽和所述第三花键槽均与销子配合。

一种EB-PVD涂层用的加工设备，包括加工组件和定位工装，所述定位工装设置在所述加工组件内。