[发明专利]一种EB-PVD涂层用的定位工装、加工设备及加工方法

权利要求书

1.一种EB-PVD涂层用的定位工装，其特征在于：包括装料组件和载料组件，所述载料组件可拆卸设置在所述装料组件上，所述装料组件包括连接轴(1)、装料盘(2)、定位板(3)和定位套筒(4)，所述装料盘(2)和所述定位板(3)均同轴固定设置在所述连接轴(1)的一端上，所述装料盘(2)与所述定位板(3)的一侧端面接触，所述定位套筒(4)同轴固定设置在所述定位板(3)的另一侧端面上，所述定位套筒(4)的外壁上设置有至少三个定位面(5)，所述定位套筒(4)上所有的所述定位面(5)呈正多边形设置，所述载料组件可拆卸设置在所述装料盘(2)上，所述载料组件与所述定位面(5)接触且配合，需要涂层的零件(6)安装于所述载料组件上。

2.根据权利要求1所述的一种EB-PVD涂层用的定位工装，其特征在于：所述载料组件包括连接杆(7)和载料壳体(8)，所述连接杆(7)的一端与所述装料盘(2)可拆卸连接，所述载料壳体(8)固定设置在所述连接杆(7)的另一端上，所述载料壳体(8)上设置有若干用于安装所述零件(6)的固定槽(9)，所述固定槽(9)的反向侧设置有接触面(10)，所述接触面(10)与所述定位面(5)配合。

3.根据权利要求1所述的一种EB-PVD涂层用的定位工装，其特征在于：所述连接轴(1)的端部设置有限位凸环(11)，所述定位板(3)的中部同轴设置有贯穿的第一安装孔(12)，所述装料盘(2)的中部同轴设置有贯穿的第二安装孔(13)，所述连接轴(1)的一端依次从所述第一安装孔(12)、所述第二安装孔(13)中穿出，所述限位凸环(11)与所述定位板(3)的内壁接触，所述连接轴(1)上设置有将所述装料盘(2)和所述定位板(3)固定在所述连接轴(1)上的卡子(14)，所述连接轴(1)上设置有与所述卡子(14)配合的卡孔(15)。

4.根据权利要求3所述的一种EB-PVD涂层用的定位工装，其特征在于：所述第一安装孔(12)上设置有第一花键槽，所述连接轴(1)上设置有第二花键槽，所述第二安装孔(13)上设置有第三花键槽，所述第一花键槽、所述第二花键槽和所述第三花键槽均与销子(16)配合。

5.一种EB-PVD涂层用的加工设备，其特征在于：包括加工组件和如权利要求1-4中任一向所述的定位工装，所述定位工装设置在所述加工组件内。

6.根据权利要求5所述的一种EB-PVD涂层用的加工设备，其特征在于：所述加工组件包括外壳体(17)、转动轴(18)、坩埚(19)、靶源(20)、第一电子枪(21)和推板(22)，所述外壳体(17)设置有涂层室(25)和装料室(26)，所述涂层室(25)与所述装料室(26)之间设置有真空阀门(27)，所述涂层室(25)的内部体积大于所述装料室(26)的内部体积，所述连接轴(1)的连接端同轴设置在所述转动轴(18)的一端上，所述连接轴(1)可在所述涂层室(25)与所述装料室(26)之间移动，所述转动轴(18)的另一端穿过所述装料室(26)的侧壁与动力件相连，所述转动轴(18)与所述装料室(26)的内壁密封配合，所述坩埚(19)密封固定设置在涂层室(25)底部上，所述靶源(20)设置在所述坩埚(19)内，加工时，所述靶源(20)设置在所述定位套筒(4)的正下方，所述坩埚(19)的底部设置有可上下移动的所述推板(22)，所述推板(22)与所述坩埚(19)密封配合，所述第一电子枪(21)设置在所述涂层室(25)的侧壁上且与所述靶源(20)上端面配合，所述涂层室(25)与第一抽真空部件(28)相连，所述装料室(26)与第二抽真空部件(29)相连，所述涂层室(25)上设置有第一箱门，所述装料室(26)上设置有第二箱门。

7.根据权利要求6所述的一种EB-PVD涂层用的加工设备，其特征在于：所述加工组件还包括第二电子枪(23)，所述第二电子枪(23)设置在所述涂层室(25)的顶部且用于为所述零件(6)加热。