[发明专利]一种自动清除光罩微粒的方法、装置及设备

权利要求书

1.一种自动清除光罩微粒的装置，其特征在于，包括：

光罩放置平台，位于光刻机内部，用于放置光罩；

抓取部件，用于在控制器的控制下抓取光罩；

信息采集模块，包括位于所述光罩放置平台上方的摄像装置；

微粒吹扫部件，包括至少一个吹扫气枪，位于所述光罩放置平台上方；

控制器，用于确定光刻机中的光罩上存在微粒时，控制所述抓取部件抓取所述光罩并放置在所述光罩放置平台上，并控制所述摄像装置采集图片，根据采集的图片确定所述微粒的物理位置坐标，控制所述至少一个吹扫气枪对准所述微粒吹扫以清除所述光罩上的微粒。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

接触式压力传感器，位于所述光罩放置平台上，用于检测到光罩放置到所述光罩放置平台上时，给所述控制器发送指示信号；

电磁卡扣，位于所述光罩放置平台周围，用于接收所述控制器根据所述指示信号发送的锁定指令，将所述光罩锁定在所述光罩放置平台上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

与摄像装置连接的第一步进电机，所述控制器通过控制第一步进电机转动摄像装置，其中，在光罩放置到所述光罩放置平台上时，控制摄像装置转动至初始位置，在确定所述微粒的物理位置坐标后，控制所述摄像装置对焦所述微粒的坐标位置。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

与所述吹扫气枪连接的第二步进电机，所述控制器通过控制所述第二步进电机控制所述吹扫气枪对准微粒的方向。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

至少一个可伸缩式电动支撑杆，位于所述光罩放置平台下方，所述控制器通过调整所述可伸缩式电动支撑杆的高度，调整所述光罩放置平台的高度及倾斜角度。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

微粒吸收装置，位于所述光罩放置平台四周，所述控制器通过控制所述微粒吸收装置在设定区间内摆动，吸收被吹扫掉的微粒。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

显示屏，用于显示所述光罩放置平台、所述信息采集模块、所述微粒清扫部件的工作状态；

手动控制模块，包括至少一个控制按钮，用于感应到触控信号时产生对应手动控制指令并发送到所述控制器，由所述控制器根据所述手动控制指令对所述光罩放置平台、信息采集模块、微粒清扫部件进行控制。

8.一种自动清除光罩微粒的方法，其特征在于，包括：

确定光刻机中的光罩上存在微粒时，控制抓取部件抓取所述光罩放置在光罩放置平台上；

控制摄像装置对放置在所述光罩平台上的光罩进行图片采集，并根据采集的图片确定所述微粒的物理位置坐标；

根据所述微粒的物理位置坐标，控制至少一个吹扫气枪对准所述微粒吹扫以清除所述光罩上的微粒。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，控制抓取部件抓取所述光罩放置在光罩放置平台上，包括：

接收接触式压力传感器检测到光罩放置到所述光罩放置平台上时发送的指示信号；

向电磁卡扣发送锁定指令，以控制所述电磁卡扣将所述光罩锁定在所述光罩放置平台上。