[发明专利]气瓶综合处理系统及其处理方法在审

专利信息
申请号: 202211047483.1 申请日: 2022-08-29
公开(公告)号: CN115419825A 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 雷海平;张建长 申请(专利权)人: 欧中电子材料(重庆)有限公司
主分类号: F17C7/04 分类号: F17C7/04;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;B09B3/30;B08B9/032;B01D53/18
代理公司: 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 代理人: 邓锋
地址: 401220 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 综合 处理 系统 及其 方法
【说明书】:

发明涉及气瓶综合处理系统及其处理方法领域,具体公开了气瓶综合处理系统及其处理方法,包括与气瓶可拆卸连接的进气汇流单元、对气瓶进行加热或翻转的加热单元以及冷却回收单元,进气汇流单元包括进气管以及安装在进气管上的第一开关阀以及安装在进气管上的第一气压表,冷却回收单元包括回收管、包裹回收瓶外壁的保温套以及依次安装在回收管上的第二开关阀、第二气压表和第三开关阀,回收瓶与回收管靠近第三开关阀的一端可拆卸连接,回收管的另一端与进气管连通;回收管靠近回收瓶的一端上设有冷却器,冷却器位于第二开关阀和第二气压表之间;加热单元设置在进气汇流单元处。本方案能够提高回收效率低同时,能够提升对气体的回收率,降低对气体的回收成本。

技术领域

本发明涉及气体混合技术领域,尤其涉及气瓶综合处理系统及其处理方法。

背景技术

随着经济的发展和市场对高纯气和标准气日益增长的需求,保证高纯气体产品质量尤为重要,然而气瓶的处理程度又是决定瓶装气质量的直接因素。对于生产电子特种气体的企业,每日都要对大量回收气瓶内的余气进行回收,一方面能够降低余气自然排出后对环境的影响,另一方面能够降低对气体的生产成本。

由于气瓶内的剩余气体进行回收时,一般采用进气管和回收管连通气瓶和回收瓶的瓶阀处,利用气体的自然扩散自然进入到回收瓶中,会直接导致气瓶中的余气回收效率较低,同时,同时气瓶内残余的气体也容易堆积在气瓶的底部,难以从气瓶内转移至进气管和回收管中,回收效率低,且存在回收不完全的情况,比如,价值较高的还原性气体(如SiH4、NH3、CO、PH3等)、氧化性气体(如F2、Cl2、ClF3等),若回收不完全会导致回收成本升高;同时,大部分需要回收的气体均存在自然排放至空气中时,会对空气造成污染的问题,如何对回收系统中存在的残余气体进行清除,也是亟待解决的问题。

发明内容

针对现有技术中所存在的不足,本发明提供了气瓶综合处理系统及其处理方法,以解决气瓶中的气体在回收时,依靠气体的自然扩散,回收效率较低的问题。

为了达到上述目的,本发明实施例的基础方案如下:气瓶综合处理系统,包括与气瓶可拆卸连接的进气汇流单元、对气瓶进行加热或翻转的加热单元以及冷却回收单元,进气汇流单元包括进气管以及安装在进气管上的第一开关阀以及安装在进气管上的第一气压表,冷却回收单元包括回收管、包裹回收瓶外壁的保温套以及依次安装在回收管上的第二开关阀、第二气压表和第三开关阀,回收瓶与回收管靠近第三开关阀的一端可拆卸连接,回收管的另一端与进气管连通;回收管靠近回收瓶的一端上设有冷却器,冷却器位于第二开关阀和第二气压表之间;加热单元设置在进气汇流单元处。

本发明的技术原理为:在对气瓶中的气体进行回收时,将气瓶与进气管的端部连接,回收瓶与回收管的端部连接,然后开启加热单元和冷却回收单元,冷却器对回收管靠近回收瓶的一端进行制冷处理,使得回收管远离进气管的一端呈低气压状态,此时气瓶内被加热的气体呈高压状态,此时气体从高压的进气管中转移至低压的回收管处,让气体的回收效率有效提高,制冷后的气体能够更多的装入到回收瓶中;与此同时,加热单元能对气瓶进行翻转,使得气体转移至瓶阀处,使得位于气瓶底部处的气体能够快速从瓶阀处进入到进气管内,在提高回收效率低同时,能够提升对气体的回收率,降低对气体的回收成本。

进一步,加热单元包括翻转部以及包裹气瓶的加热部,所述翻转部包括与气瓶侧壁相抵的第一夹爪、与第一夹爪配合的第二夹爪以及带动第一夹爪和第二夹爪翻转的转轴,第一夹爪固定安装在转轴上,第二夹爪与转轴之间设置有控制第二夹爪沿转轴的轴向水平移动的气缸,第二夹爪与气瓶的侧壁相抵。

通过上述设置,在采用翻转部对气瓶进行翻转时,通过控制转轴转动,转轴通过第一夹爪和第二夹爪带动待处理的气瓶翻转,能够让竖直设置的气瓶快速且方便的翻转至倾斜状态,便于待处理气瓶底部的气体转移至待处理气瓶的瓶阀处,气体能够快速从瓶阀处进入到进气管中,提高对气体的回收效率。

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