[发明专利]一种金刚石研磨液水基清洗剂及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202211025046.X | 申请日： | 2022-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115353935A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 阳文 | 申请（专利权）人： | 广州阿美新材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/83 | 分类号： | C11D1/83;C11D1/825;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/37;C11D11/00;C11D3/60;B08B3/12;B08B3/08 |
| 代理公司： | 广州君策达知识产权代理事务所(普通合伙) 44749 | 代理人： | 杨燕瑞 |
| 地址： | 510725 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 研磨 液水基清 洗剂 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种金刚石研磨液水基清洗剂，其特征在于包括以下质量百分数的组分：有机酸3-10％，螯合剂5-8％，缓蚀剂1-3％，表面活性剂3-6％，水余量。
2.根据权利要求1所述的金刚石研磨液水基清洗剂，其特征在于：所述的有机酸包括甲酸、琥珀酸、马来酸、苹果酸、醋酸、草酸中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的金刚石研磨液水基清洗剂，其特征在于：所述的螯合剂包括柠檬酸、聚丙烯酸、PBTCA、PDTA中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的金刚石研磨液水基清洗剂，其特征在于：所述缓蚀剂包括6501、6503中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的金刚石研磨液水基清洗剂，其特征在于：所述的表面活性剂包括脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、聚醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、烷基胺、烷基醇酰胺、十二烷基苯磺酸钠中的至少一种。
6.一种权利要求1-5任一项所述的金刚石研磨液水基清洗剂的制备方法，其特征在于将各组分按比例混合，搅拌均匀得到。
7.权利要求1-5任一项所述的金刚石研磨液水基清洗剂的应用。
8.根据权利要求7所述的应用，其特征在于具体包括以下步骤：向清洗槽中加入权利要求1-5任一项所述的金刚石研磨液水基清洗剂的稀释液，加热至清洗温度，放入待清洗工件，超声清洗，水漂洗，烘干。
9.根据权利要求8所述的应用，其特征在于：所述稀释液的浓度为5-10wt％。
10.根据权利要求8所述的应用，其特征在于：所述的清洗温度为50-60℃；所述超声清洗的时间为5-10min。
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